徐宗伟
- 作品数：79 被引量：87H指数：6
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>
- 电子束辐照增强多壁纳米管器件横向刚度的方法
- 本发明属于形貌检测及纳米加工技术领域，涉及一种电子束辐照增强多壁纳米管器件横向刚度的方法，包括下列步骤：将需要刚度优化的悬空多壁纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上，调节多壁纳米管在电子束垂直方向上；通过电子束成像系统对...
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- 纳米线或纳米管放电加工微纳三维结构的方法和系统
- 本发明属于微纳制造技术领域，涉及一种纳米线或纳米管放电加工微纳三维结构的方法：(1)将导电性的纳米线或纳米管粘接到钨针尖上；(2)将电极夹持装置置于位移台上，并通过多轴运动控制器对位移台的移动进行控制；(3)将导电材料工...
- 房丰洲王庆祎徐宗伟胡小唐
- 基于聚焦离子束铣削的复杂微纳结构制备被引量：13
- 2009年
- 聚焦离子束铣削是一种灵活且高精度的微加工方法,探索通过聚焦离子来铣削进行复杂微纳米结构的加工过程.通过聚焦离子束铣削加工,利用灰度值精确控制离子束加工时间,实现闪耀光栅以及正弦结构等复杂微纳结构的加工过程.同时,利用聚焦离子束对原子力显微镜纳米管探针的长度进行高精度调控,其长度控制精度可以小于50nm.聚焦离子束铣削技术为制备在各种科学工程领域应用的多种复杂微结构提供了有效途径.
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- 关键词：聚焦离子束微加工铣削原子力显微镜
- 粒子束辅助单晶脆性材料超精密加工方法
- 本发明属于利用表面改性进行超精密切削加工的新技术，具体讲涉及质子束辅助脆性材料超精密加工方法。本发明一种基于质子束照射靶材表面改性辅助加工的超精密加工技术，能显著提高超精密加工脆性材料的加工精度和表面粗糙度，大幅度降低刀...
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- 一种FIB直写加工制备SERS基底的优化加工方法
- 本发明涉及一种FIB直写加工制备SERS基底的优化加工方法，采用具有可以进行电子束扫描（SEM）和离子束（FIB）加工的聚焦离子束-电子束的双束系统，包括下列步骤：将待加工基底置于双束系统样品室，并通过电子束成像系统进行...
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- 一种利用镀膜技术辅助获得高精度刃口微型刀具的方法
- 本发明属于复杂微纳结构和器件的加工制造技术领域，涉及一种利用镀膜技术辅助获得高精度刃口微型刀具的方法，包括以下步骤：在聚焦离子束真空样品室内，利用聚焦离子束对微刀具毛坯进行粗加工，加工出刀具前刀面；利用聚焦离子束铣削方法...
- 房丰洲徐宗伟兀伟
- 一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法
- 本发明属于离子溅射加工技术领域，涉及一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法，将经过离子注入加工的金刚石材料放置在激光设备的样品台上，在激光器和样品台之间加入能量仪以检测激光的出射能量，调节激光的出射能量至100mW-300...
- 徐宗伟李万里房丰洲兀伟
- 基于SEM纳米切削装置的设计与实验被引量：3
- 2015年
- 针对目前纳米切削机理研究方法中切削过程无法在线高分辨力观测等瓶颈问题,设计并搭建了一套集成于扫描电子显微镜高真空条件下的纳米切削实验装置,开展了该实验装置的运动精度分析、典型单晶材料纳米切削在线观测等研究.该装置在切削及切深方向均能实现7,μm的位移输出,闭环分辨力为0.6,nm.通过白光干涉仪对纳米切削台阶加工结果的测量,分析装置运动精度,实现了切深分别为59.3,nm、115.1,nm和161.2,nm的台阶结构加工.利用直线刃金刚石刀具对单晶铜和单晶硅材料进行了纳米切削实验,实验结果表明所研制的纳米切削装置能够实现纳米尺度材料去除的在线高分辨力观测.
- 刘冰徐宗伟兀伟王志强
- 关键词：扫描电子显微镜
- 基于EBSD技术的单晶硅纳米切削研究被引量：1
- 2017年
- 切削加工产生的表面和亚表面损伤会影响零件的物理力学性能和使用寿命.对目前存在的主要的表面/亚表面损伤检测技术进行了阐述,指出了目前检测方法的优缺点,提出了一种基于电子背散射衍射技术(EBSD)检测方法,作为现有检测技术的补充.基于课题组自行搭建的集成于扫描电子显微镜高真空条件下的纳米切削实验装置,用金刚石刀具在单晶硅(001)晶面上沿<110>晶向进行切削,然后利用EBSD进行表征.结果表明:利用EBSD检测技术可以对单晶硅不同切削厚度的应力应变进行分析,通过使用不同的电子束能量可以对距离表面不同深度的亚表面损伤进行研究.此外,利用其高分辨率,可以对硅片加工过程中出现的相变进行定点分析.
- 徐宗伟赵兵刘红光刘冰国晨
- 关键词：电子背散射衍射应力应变相变
- 原子力显微镜探针对环型DNA分子的切割研究
- 2008年
- 本文利用原子力显微镜氮化硅探针对吸附在云母基底表面上的超螺旋环形pCI-neo质粒DNA成功地进行了切割操作,同时计算出探针的切割力约为40nN。同时对切割的精度和切割后样品的拾取等问题进行了深入地的分析和探讨。原子力显微镜用于生物样品的纳米级操纵对生物样品的研究具有重要的研究价值。
- 徐宗伟房丰洲王景贺董申赵铁强
- 关键词：DNA分子原子力显微镜
