李海军
- 作品数：15 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：苏州市科技发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 用于红外测试中的承载装置
- 本发明公开一种用于红外测试中的承载装置，包括：承载组件，包括用于承载待测试的样品的斜面及遮光板，其中，所述遮光板上设置有通孔，所述待测的样品接收来自所述通孔的光；挡光组件，邻近于所述通孔设置，用于改变所述通孔的通光面积；...
- 付凯高华杰熊敏李海军曾春红张宝顺
- 文献传递
- 表面等离子体近场光刻制作二维纳米阵列被引量：2
- 2010年
- 重点介绍了采用表面等离子体增强效应的近场光刻制作亚微米结构的二维点阵图形的技术。在研究亚波长纳米孔阵列超透射现象基本原理的基础上,应用有限差分时域(FDTD)算法数值模拟了周期性孔阵列的电场强度分布,讨论了纳米孔阵列所激发的表面等离子体激元提高近场光刻分辨率的微观机制。以金膜上的亚波长纳米孔阵列作为掩模版进行了接触式曝光实验,实际制作出了光刻胶的亚波长二维点阵图形,点阵图形的直径约为300nm,周期约为700nm。这种新型的微纳加工技术具有应用简单、成本低等特点,在大规模二维纳米点阵的制作方面有一定的应用潜力。
- 李海军林文魁张晓东王逸群曾春红赵德胜王敏锐张宝顺
- 关键词：表面等离子体纳米孔阵列金膜
- 基于表面等离子体激元效应的可调制滤波器被引量：1
- 2010年
- 针对常用的光学滤波器滤波波长不可变的特点,提出一种利用表面等离子体激元效应实现可调制滤波的方法。该方法根据金属邻近电介质的介电常数发生改变时,金属与入射光波的表面等离子体激元耦合共振模式发生改变,以此实现滤波波长调制。在加工有亚波长纳米孔阵列的A u薄膜上制作了一可见光滤波器,实验中采用空气、酒精和油作为介质对器件进行调制。结果表明:相对于常用的光学滤波器,该器件由于可以方便地改变临近介质的介电常数,因此具有滤波波长连续可调、快速方便、波长变化精度高等特点。
- 林文魁李海军朱贺付思齐吕佳楠张宝顺
- 关键词：表面等离子体激元电介质纳米孔阵列
- 低温ICP-CVD氮化硅薄膜沉积技术及其应用
- 随着集成电路和半导体微纳加工技术的不断发展，半导体器件钝化问题已经成为半导体物理的一个重要的研究领域，因而制备优质的钝化薄膜成为研究焦点。氮化硅薄膜具有高介电常数、高化学稳定性、致密性好、抗氧化、抗腐蚀、抗杂质扩散和水汽...
- 张晓东张学敏时文华李海军王荣新张宝顺
- 一种高灵敏度紫外探测器的制备方法
- 本发明揭示了一种高灵敏度紫外探测器的制备方法，该方法以调节宽禁带半导体的材料组分来实现对紫外波段的选择性探测。特别通过在该宽禁带半导体制备表面柱阵列结构，再采用紫外透光导电材料沉积并覆盖表面柱阵列结构区域作为肖特基接触电...
- 付凯李海军杨乐臣刘冬刘帆熊敏张宝顺
- 文献传递
- 应用于高密度近场光存储技术的亚波长纳米孔被引量：1
- 2010年
- 近场光存储技术因其高分辨率、超出传统光学衍射极限的限制等特点成为实现下一代高密度光存储的关键解决方案之一。目前应用的主要瓶颈是其光源较低的透过强度难以达到实际应用的要求。文章利用金属表面的周期性结构激发表面等离子体激元来提高亚波长纳米孔的透过率的解决途径。实验中制作了两种周围带有表面周期结构的纳米微孔,并对小孔周围光栅状结构的形状对纳米孔透过强度的影响进行了讨论。在此基础上提出了将纳米孔应用于高密度存储领域的设想。
- 李海军林文魁张晓东査强王媛朱贺付思齐张宝顺
- 关键词：近场光学表面等离子体透过率
- 基于Plasmon增强的量子阱红外探测器及其制备方法
- 本发明公开了基于Plasmon增强的量子阱红外探测器及其制备方法，其包括：一Si-GaAs衬底；一位于所述衬底上的AlAs缓冲层；一位于所述缓冲层上的AlAs:Si下接触层；一位于所述下接触层上的多量子阱层；一位于所述多...
- 李海军刘冬杨乐臣付凯王逸群
- 文献传递
- 光子晶体耦合型多色量子阱红外探测器
- 本发明涉及一种光子晶体耦合型多色量子阱红外探测器，包括自下而上的顺序依次设置的衬底、缓冲层、第一接触层、多量子阱层、第二接触层和光子晶体耦合层，其中，第一接触层和第二接触层上还分别设置有探测器下电极和探测器上电极。本发明...
- 李海军杨乐臣刘冬付凯王逸群张宝顺
- 文献传递
- 一种高灵敏度紫外探测器的制备方法
- 本发明揭示了一种高灵敏度紫外探测器的制备方法，该方法以调节宽禁带半导体的材料组分来实现对紫外波段的选择性探测。特别通过在该宽禁带半导体制备表面柱阵列结构，再采用紫外透光导电材料沉积并覆盖表面柱阵列结构区域作为肖特基接触电...
- 付凯李海军杨乐臣刘冬刘帆熊敏张宝顺
- 基于Plasmon增强的量子阱红外探测器及其制备方法
- 本发明公开了基于Plasmon增强的量子阱红外探测器及其制备方法，其包括：一SI-GaAs衬底；一位于所述衬底上的AlAs缓冲层；一位于所述缓冲层上的AlAs:Si下接触层；一位于所述下接触层上的多量子阱层；一位于所述多...
- 李海军刘冬杨乐臣付凯王逸群
