林日乐
- 作品数：43 被引量：63H指数：6
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法
- 本发明涉及一种石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法，它是将光刻后的石英晶体放入腐蚀液中，在60℃-95℃温度条件下对石英晶体进行化学刻蚀，刻蚀时间为10-20小时；腐蚀液由水、氢氟酸和氟化铵混合而成，水、氢氟酸和氟化...
- 张巧云林日乐翁邦英周倩谢佳维
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- 基于插值法的MEMS陀螺温度补偿方法被引量：5
- 2021年
- 温度对微机电系统(MEMS)陀螺零偏影响较大,是影响其测量精度的主要因素之一。该文通过温度循环试验,建立了陀螺零偏与温度间的关系。采用多元逐步回归法和温度分段插值法建立了陀螺零偏温度补偿模型。试验结果证明,两种方法均能准确地反映陀螺零偏随温度变化的情况,且温度分段插值法可以消除明显的趋势项。与多元逐步回归法相比,补偿后全温零偏误差的峰-峰值由0.025(°)/s减小到0.015(°)/s,全温零偏稳定性由32.9(°)/h提高到14.2(°)/h。
- 罗华芶志平冉龙明林日乐
- 关键词：零偏温度补偿插值法
- 石英MEMS陀螺
- 石英微机电系统（MEMS）陀螺是一种微型惯性器件。介绍了石英MEMS陀螺的工作原理及敏感芯片的几种典型结构形式,石英MEMS陀螺敏感芯片一般采用一体式音叉结构,有多种结构形式,不同的芯片结构形式性能指标和体积不同,可应用...
- 林日乐满欣周倩李文蕴谢佳维张巧云
- 关键词：石英陀螺音叉
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- 高性能石英MEMS陀螺
- 林日乐谢佳维江黎满欣李文蕴蒋昭兴翁邦英赵建华苏永川林丙涛董宏奎王清亮文路张巧云朱振忠
- 高性能石英MEMS陀螺是振动惯性技术和石英MEMS技术相融合的产品。项目着重开展了敏感芯片设计、石英MEMS工艺、高精度陀螺电路设计等技术研究，突破了高精度陀螺敏感芯片结构设计、一体式掩膜电极成型MEMS工艺、集成式敏感...
- 关键词：
- 关键词：陀螺
- 一种利于微型化的石英谐振元件
- 本实用新型公开了一种利于微型化的石英谐振元件，包括基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽由两侧平行的深凹槽和位于两个深凹槽之间且与两个深凹槽连为一体的浅凹槽构成。在凹槽的内壁以及谐振梁的两侧壁上...
- 林丙涛林日乐班亚娟赵建华
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- 石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究被引量：8
- 2013年
- 石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位。在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏。通过在敏感芯片的开槽结构末端设计圆弧台阶结构,降低了该部位在高冲击环境下受到的最大应力,提高了敏感芯片的抗冲击性能。通过综合优化后,石英微机械陀螺的抗高冲击能力可达到10 000g,并保持了较好的性能。
- 林日乐李文蕴赵建华周倩满欣谢佳维
- 关键词：石英微机械陀螺
- 一种集成式橡胶减振器
- 一种集成式橡胶减振器，包括法兰，该法兰的中部设置有中心孔，在该中心孔内设置有连接块，在该中心孔内还设置有位于所述法兰和连接块之间，用于连接所述法兰和连接块的减振橡胶体，所述连接块的中部设置有用于安装元件的安装孔，法兰的中...
- 谢佳维满欣林日乐
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- 一种微型三维叠装的MEMS谐振器件的制造方法
- 本发明公开了一种微型三维叠装的MEMS谐振器件的制造方法，微型三维叠装的MEMS谐振器件包括外壳、盖帽及芯片支架，谐振芯片通过固定部安装在芯片支架上且使谐振梁悬空，芯片支架安装在外壳内壁上且与外壳电气连接，外壳内底面设有...
- 林日乐谢佳维王伟赵建华翁邦英李文蕴罗华蒋昭兴
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- 闭环控制式加速度计
- 本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
- 林丙涛赵建华林日乐张巧云董宏奎翁邦英徐洲李文蕴谢佳维满欣周倩
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- 旋转飞行器用微机电陀螺仪
- 芶志平刘奎王清亮张彤王瑜余鲲朱振忠林日乐谢佳维李文
- 微机电陀螺仪是一种采用MEMS工艺制造的微型传感器，具有成本低、体积小、环境适应能力强、便于大批量装配的特点。该项目研制的旋转飞行器用微机电陀螺仪是陆军某新型制导武器系统的重要组成部分，用于测量旋转飞行器运动中角速率信号...
- 关键词：
- 关键词：旋转飞行器传感器
