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温绍国
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郑州工业高等专科学校材料工程系
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陈金身
郑州工业高等专科学校材料工程系
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1998
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气相沉积法金刚石膜的合成机理
1998年
本文分别对同质和异质基材气相沉积法(CVD法)金刚石膜的形成机理进行论述,进而阐述了对金刚石膜合成的指导意义。
陈金身
温绍国
关键词:
气相沉积
金刚石膜
基材
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