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王自昱

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇声学
  • 2篇探头
  • 2篇球面
  • 2篇自聚焦
  • 2篇显影液
  • 2篇刻蚀

机构

  • 2篇华中科技大学

作者

  • 2篇郭万克
  • 2篇王自昱
  • 2篇朱本鹏

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种高频声学自聚焦球面探头的制备方法
本发明公开了一种高频声学自聚焦球面探头的制备方法，包括：（1）在基底上制备氮化硅层；（2）对氮化硅层进行光刻处理，并刻蚀孔洞：首先对氮化硅层进行光刻处理；接着配合使用曝光保护层以及紫外线曝光仪将光刻胶曝光，并使用显影液洗...
朱本鹏郭万克王自昱
一种高频声学自聚焦球面探头的制备方法
本发明公开了一种高频声学自聚焦球面探头的制备方法，包括：（1）在基底上制备氮化硅层；（2）对氮化硅层进行光刻处理，并刻蚀孔洞：首先对氮化硅层进行光刻处理；接着配合使用曝光保护层以及紫外线曝光仪将光刻胶曝光，并使用显影液洗...
朱本鹏郭万克王自昱
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