艾华
- 作品数:62 被引量:199H指数:8
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:吉林省自然科学基金中国科学院科研项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 一种柱面光栅轴角干涉式编码器
- 一种柱面光栅轴角干涉式编码器,属于光电测量技术领域中用于测量角位移的编码器。本发明要解决的技术问题是:在圆柱面上提取高分辨力的角位移信息。解决技术问题的技术方案是:圆柱面采用圆柱面光栅,光源采用半导体激光器,利用两个反射...
- 艾华韩旭东
- 文献传递
- 一种凹球面光刻刻划机
- 一种凹球面光刻刻划机,属于超微细加工技术领域中的一种对凹球面实施光刻的光刻设备。本发明要解决的技术问题是:提供一种凹球面光刻刻划机,技术方案是:光刻刻划机形体采用支架支撑结构,由水平回转轴系统、竖轴系统、进给轴系统、光学...
- 艾华韩旭东
- 文献传递
- 一种光电式大直径测量装置
- 一种光电式大直径测量装置,属于光电检测技术领域中涉及的一种测量装置,要解决的技术问题是:提供一种光电式大直径测量装置。技术方案包括:被测工件、定位块、工作台、光栅尺、电缆导线、数显箱、光具座、导轨、安装块;定位块通过它们...
- 艾华李琳韩旭东
- 文献传递
- 多圈光电轴角编码器在直线位移测量中的应用
- 多圈光电轴角编码器是一种适用于大量程轴角位移精密测量的光电数字测角仪,其测量范围可超过整周(360°)的几百倍,甚至上千倍.利用多圈光电轴角编码器具有分辨力高、精度高、体积小、量程大以及数字量输出等优点,设计了由高精度齿...
- 张世轶韩旭东艾华
- 关键词:轴角编码器
- 文献传递
- 共光路移相单频激光干涉测长系统被引量:14
- 2004年
- 单频激光干涉系统采用偏振光移相方法,用来解决常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题。共光路设计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力。在构造了一套实验布局的基础上,分析了影响系统测长精度的主要因素,并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析,完成了系统的精度测试。
- 韩旭东艾华
- 关键词:移相共光路单频激光干涉仪
- 一种基于相移差动的光学瞄准与定点装置及方法
- 本发明提供的基于相移差动的光学瞄准与定点装置及方法,光线汇聚在待测物体上,当遇到特征点狭缝或是反光亮线时,该狭缝线长方向与待测物体运动方向垂直,在信号接收端,通过采用两个光电接收器进行相移差动位移检测,可以提高位置零点检...
- 艾华
- 文献传递
- 一种高精度测角仪器的精度检测方法
- 本发明涉及一种高精度测角仪器的精度检测方法,包括以下步骤:转动被检测测角仪器的转动部分到第二自准直光管瞄准第一平面反射镜的反射面的位置,记录此时被检测测角仪器的输出角度值;移动第一自准直光管,使其瞄准第二平面反射镜的反射...
- 艾华曹艳波
- 文献传递
- 多圈光电轴角编码器在直线位移测量中的应用被引量:6
- 2005年
- 多圈光电轴角编码器是一种适用于大量程轴角位移精密测量的光电数字测角仪,其测量范围可超过整周(360°)的几百倍,甚至上千倍。利用多圈光电轴角编码器具有分辨力高、精度高、体积小、量程大以及数字量输出等优点,设计了由高精度齿轮同步带传动机构与16位多圈编码器组合而成的直线位移测量系统,并对系统的测长精度进行了检定。实验结果表明,修正后的系统测长误差低于0.065 mm,可满足中低精度的工业测量要求。
- 张世轶韩旭东艾华
- 关键词:轴角编码器
- 基于圆偏振光合成的动态干涉仪同步移相技术研究
- 2014年
- 动态干涉仪是一种高精度的测量仪器,为了研究动态干涉仪的同步移相技术,论文通过建立两束旋向相反的圆偏振光合成的数学模型,更加清晰的表现了合成光束的传播状态,分析了合成光束经过起偏器后其干涉图像相位与起偏器摆放角度的关系。以此为基础,设计动态干涉仪光路并搭建试验台,最终用四个CCD同步采集到四幅相位依次相差90°的干涉图像,实现对被测镜面的动态测量,为提高干涉仪测量结果的准确性奠定了基础。
- 樊孝贺艾华曹艳波
- 关键词:起偏器同步采集
- 干涉式高密度圆光栅偏心检测装置
- 干涉式高密度圆光栅偏心检测装置涉及精密仪器检测领域,该检测装置包括一号激光器(1)、一号准直镜(2)、副光栅盘(4)、一号光电接收器(5)、二号光电接收器(6)、二号准直镜(7)、二号激光器(8)、主轴(9)、轴套(10...
- 艾华曹艳波