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黄韬
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2
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相关领域:
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X切H:LiNbO3光波导的工艺仿真研究
对于x切H:LiNbO3光波导,在532nm和1310nm,用棱镜耦合器进行了工艺仿真研究。对于在150℃,180℃和200℃用苯甲酸质子交换的光波导,分别求得交换厚度与交换时间的关系曲线,在此基础上给出质子交换的扩散系...
黄韬
金锋
刘福民
徐宇新
关键词:
铌酸锂
质子交换
退火
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X切H∶LiNbO_3光波导的工艺仿真研究
被引量:1
2005年
对于X切H∶LiNbO3光波导,在532nm和1310nm波长下,用棱镜耦合器进行了工艺仿真研究.对于在150℃,180℃和200℃用苯甲酸质子交换的光波导,分别求得交换厚度与交换时间的关系曲线,在此基础上给出质子交换的扩散系数与交换温度的关系曲线.对于在180℃质子交换并在350℃退火的光波导,给出以交换时间(交换厚度)为参变量的表面折射率增量、有效厚度与退火时间的关系曲线.研究结果可供低损耗α相单模波导的设计和制备做参考.
黄韬
金锋
刘福民
徐宇新
关键词:
铌酸锂
质子交换
退火
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