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程嘉

作品数：94 被引量：25H指数：4
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 78篇专利
  • 9篇期刊文章
  • 6篇会议论文
  • 1篇标准

领域

  • 10篇自动化与计算...
  • 8篇文化科学
  • 6篇电子电信
  • 6篇电气工程
  • 5篇一般工业技术
  • 3篇核科学技术
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇机械工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 28篇电机
  • 19篇发电机
  • 18篇纳米
  • 18篇纳米发电机
  • 13篇发电
  • 12篇静电
  • 12篇磁场
  • 11篇卡盘
  • 9篇电荷量
  • 9篇摩擦起电
  • 9篇静电力
  • 8篇等离子体
  • 8篇电流
  • 8篇力传递
  • 8篇发电装置
  • 8篇背包
  • 6篇电路
  • 6篇晶片
  • 6篇感器
  • 6篇传感

机构

  • 94篇清华大学
  • 1篇中国石油规划...
  • 1篇北京机械工业...
  • 1篇中车信息技术...

作者

  • 94篇程嘉
  • 79篇季林红
  • 42篇路益嘉
  • 19篇王人成
  • 12篇杨义勇
  • 10篇张若凡
  • 8篇刘源
  • 8篇阎绍泽
  • 7篇朱煜
  • 7篇刘帆
  • 6篇胡伟
  • 6篇吴晓晶
  • 6篇王珂晟
  • 5篇张可
  • 5篇王春财
  • 4篇李博
  • 4篇段广洪
  • 4篇林嘉
  • 3篇汪劲松
  • 3篇尹文生

传媒

  • 3篇清华大学学报...
  • 2篇Journa...
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇机床与液压

年份

  • 8篇2024
  • 2篇2023
  • 5篇2022
  • 7篇2021
  • 8篇2020
  • 12篇2019
  • 4篇2018
  • 3篇2017
  • 6篇2016
  • 5篇2015
  • 17篇2014
  • 4篇2013
  • 4篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2008
  • 3篇2007
共 94 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种变偏心距式磁电管
本发明涉及磁电管运动轨迹控制技术领域，特别涉及一种用于提高溅射靶表面磁场分布均匀性，继而提高溅射靶的利用率的变偏心距式磁电管。本发明包括旋转驱动组件、变偏心距组件和磁电管组件三部分，采用一个旋转电机和一个直线电机，旋转电...
王人成胡伟阎绍泽季林红程嘉
文献传递
基于回归正交设计的ICP刻蚀机工艺腔室流场特性分析被引量：4
2008年
为研究感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机工艺腔室结构对流场特性的影响,采用回归正交设计方法对腔室半径、腔室高度、进气口半径以及进气流量4个设计参数进行试验设计,利用商业软件CFD-ACE+建立ICP刻蚀机工艺腔室二维流场仿真模型.定义了静电卡盘上方气压分布均匀性评价函数,通过对试验结果的回归分析,确定了关键参数对气压分布均匀性影响程度的定量关系,并由此建立了拟合度较高的二次回归方程.结果表明腔室高度为最显著影响因素.经过验证可见,回归方程的计算结果与仿真分析结果保持了较高的一致性,可以为结构与工艺条件相近的刻蚀机、化学气相沉积(CVD)设备以及氧化/扩散系统的结构研究与设计提供参考.
程嘉朱煜段广洪王春洪
关键词：感应耦合等离子体
IC装备多领域建模工艺仿真设计平台电磁模块开发与应用
IC装备的设计过程涉及多个环节，包括最初的几何建模，热流、电磁、等离子体等物理场的特性分析，以及最终的实验设计与优化等。这些环节之间存在一定的逻辑关系和参数间的传递，而在实际设计过程中，这些环节往往是被割裂的，比如物理场...
张若凡张可吴晓晶王人成程嘉陆益嘉
关键词：PECVD
一种利用摩擦材料形变的接触分离式摩擦纳米发电机
本发明提供的一种利用摩擦材料形变的接触分离式摩擦纳米发电机，包括相对设置的正极摩擦单元和负极摩擦单元，以及位于正极摩擦单元和负极摩擦单元之间的多个正、负极形变结构；各摩擦单元均分别包括充液腔、填充于充液腔内的导电流体以及...
程嘉唐睿杰王昭政季林红路益嘉
一种基于摩擦生电的能量收集背包系统
本公开提出一种基于摩擦生电的能量收集背包系统，包括背包本体、背带、背包上板、背包下板及连接于背包上板、下板之间的减振发电装置；减振发电装置的减振部分包括减振缓冲单元和一对单轴直线导杆单元，发电部分包括由减振部分同步驱动的...
程嘉杨泽赖哲民沈君瑶杨义勇季林红
磁控溅射设备中铜靶刻蚀形貌的仿真计算方法
一种磁控溅射设备中铜靶刻蚀形貌的仿真计算方法属于半导体制造设备设计技术领域。通过ansys仿真或用三维高斯计测量，取得磁电管在靶材表面磁场强度的水平分量，进行多项式拟合后，建立有效磁场数据矩阵，并求得刻蚀跑道矩阵；根据磁...
王人成胡伟阎绍泽季林红程嘉
文献传递
一种基于摩擦生电的紫外线水杀菌装置
本发明提出的一种基于摩擦生电的紫外线水杀菌装置，包括机械能输入装置、摩擦纳米发电机、皮带传动装置、水泵、紫外线灯、输入、输出轴；机械能输入装置的输出端带动摩擦纳米发电机的转子转动，同时通过皮带传动装置带动输出轴转动，该输...
程嘉王昭政孙润桐季林红路益嘉
文献传递
一种基于摩擦生电的悬浮式能量收集背包
本实用新型提出的一种基于摩擦生电的悬浮式能量收集背包，属于箱包应用技术领域。包括背包本体、背带、背包上板和背包底板；在背包上板和底板之间设有减重缓冲单元、层式联动摩擦起电单元以及一对单向移动直线滑轨单元；通过单向移动直线...
程嘉杨泽王昭政丘嘉豪肖轩季林红路益嘉
文献传递
一种嵌套式旋转摩擦发电装置
本发明提出的一种嵌套式旋转摩擦发电装置，属于摩擦发电装置技术领域。该装置采用以外定子‑转子‑内定子形式布设的嵌套结构，转子在外定子和内定子围合而成的空间内做周期性的旋转运动。本装置充分利用了有限的三维空间，在转子内部嵌套...
路益嘉刘源程嘉季林红
文献传递
一种嵌套式旋转摩擦发电装置
本实用新型提出的一种嵌套式旋转摩擦发电装置，属于摩擦发电装置技术领域。该装置采用以外定子‑转子‑内定子形式布设的嵌套结构，转子在外定子和内定子围合而成的空间内做周期性的旋转运动。本装置充分利用了有限的三维空间，在转子内部...
路益嘉刘源程嘉季林红
文献传递
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