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基于材料添加与去除相结合的光学镜面离子束纳米精度加工方法: 本发明公开了一种基于材料添加与去除相结合的光学镜面离子束纳米精度加工方法，包括以下步骤：先获取添加函数，然后测量待加工工件的面形误差，以测量结果取反后的数值作为材料添加量，根据二维卷积公确定出添加驻留时间；根据添加驻留时...; 戴一帆廖文林解旭辉周林袁征任虹宇; 文献传递

离子束确定性添加装置及离子束抛光系统: 本发明公开了一种应用于离子束抛光系统的离子束确定性添加装置，包括支撑架、支撑架中装设的离子源和受该离子源发出的离子束轰击的靶材，支撑架包括有固定靶材的靶材固定夹具，支撑架上设置有用于截取靶材溅射原子流的光阑；支撑架底部装...; 戴一帆李圣怡廖文林解旭辉周林袁征; 文献传递

一种高精度高动态性能的五轴离子束加工装置及其控制方法: 一种高精度高动态性能的五轴离子束加工装置及其控制方法，该装置包括数控系统、机架组件、X轴直线运动组件、Y轴直线运动组件、Z轴直线运动组件、A轴直驱组件、B轴直驱组件、工件输送组件、离子源，通过五个方向上的驱动实现了离子源...; 李圣怡戴一帆解旭辉周林任虹宇袁征; 文献传递

热压多晶氟化镁的磁流变抛光研究被引量：4: 2008年; 热压多晶氟化镁是一种被广泛应用的红外光学材料。磁流变抛光因其抛光效率高、磨头无磨损、可实现确定性加工等优点而日益成为倍受瞩目的超精密光整加工技术。在利用传统抛光方法得到热压多晶氟化镁的抛光特性的基础上配制了适用于该材料的磁流变抛光液。通过抛光实验证明,与传统抛光方法相比,采用磁流变抛光方法对热压多晶氟化镁进行抛光,可以得到较好抛光表面质量,并且抛光的效率也大大提高。; 戴一帆袁征陈浩锋尹自强; 关键词：氟化镁磁流变抛光磁流变液

双真空室离子束抛光系统及抛光方法: 一种双真空室离子束抛光系统，包括真空工作室，真空工作室旁设用于装卸工件的辅助真空室，真空工作室与辅助真空室间设用于控制二者通断的插板阀，真空工作室和辅助真空室内设有可在二者之间传送工件的工件传送装置。该系统可提高抛光效率...; 周林戴一帆袁征解旭辉李圣怡任虹宇; 文献传递

离子束修形中光学元件表面热量沉积数值模拟被引量：5: 2012年; 根据Sigmund溅射能量沉积理论建立了低能离子入射光学元件引起的能量扰动层厚度模型.理论推导了离子束倾斜入射时光学元件表面的束流密度,并建立了低能离子束对光学元件的热量沉积模型.采用Monte Carlo方法模拟了低能离子与熔石英光学表面的相互作用.分析了离子能量、离子类型、入射角度等参数对光学元件热量沉积和扰动层深度的影响规律.以离子束沉积在工件的能量作为热源,采用有限元分析软件ANSYS模拟了离子束入射工件的温度场分布、温度梯度场分布和温度应力分布.入射表面温度和热梯度呈高斯分布,束斑中心最高并向工件边缘逐渐减小.入射表面束斑区域受热膨胀,其膨胀受到外环区域的制约,从中心区域到大约束斑半峰值半径的区域,所受环向应力为压应力,在大致束斑半峰值半径以外区域为拉应力.; 袁征戴一帆解旭辉周林; 关键词：光学加工

氟化钙单晶超精密抛光技术被引量：4: 2013年; 针对紫外光学系统对氟化钙(Calcium fluoride,CaF2)晶体高精度、超光滑表面的加工要求,提出通过化学机械抛光(Chemically mechanical polishing,CMP)获得超光滑的表面,并利用离子束抛光(Ion beam figuring,IBF)进一步提升其面形精度的超精密加工工艺新方法。对CaF2晶体表面粗糙度和表面形貌随着CMP去除深度的演化规律进行试验研究,发现CMP可有效去除传统机械研磨抛光过程产生的划痕,并获得表面粗糙度为0.268 nm RMS(0.94 mm 0.7 mm)的超光滑的表面;对CaF2晶体表面粗糙度随IBF中离子入射角度和去除深度的演化规律进行试验研究,发现IBF后CaF2晶体表面变得粗糙,且在入射角度为40°左右时变粗糙的程度最小。因此,利用离子束倾斜40°对CMP后的CaF2晶体平面进行表面面形误差修正,得到面形精度13.14 nm PV,1.06 nm RMS和表面粗糙度为0.281 nm RMS的高精度、超光滑CaF2晶体表面。; 袁征戴一帆解旭辉周林彭文强; 关键词：氟化钙光学加工表面粗糙度

用于高陡度光学零件的磁流变抛光装置: 一种用于高陡度光学零件的磁流变抛光装置，它包括机床、磁流变抛光装置以及与分别以上各组件相连的控制系统，所述机床包括水平基座和竖直基座，X轴直线运动机构和Y轴直线运动机构呈“十”字交叉状布置于水平基座上，X轴直线运动机构固...; 戴一帆李圣怡彭小强陈浩锋胡皓尹自强袁征; 文献传递

采用组合螺旋式抛光路径的抛光工艺: 本发明涉及一种采用特殊加工路径的计算机控制抛光工艺，具体公开了一种采用组合螺旋式抛光路径的抛光工艺，包括以下步骤：先确定去除函数，然后以待加工光学镜面的中心作为极坐标原点，靠近原点的中心区域和外围的其他区域分别规划为等面...; 周林戴一帆解旭辉袁征廖文林段纬然沈永祥

基于化学机械抛光和离子束抛光组合工艺的氟化钙单晶超精密加工方法: 本发明公开了一种基于化学机械抛光和离子束抛光组合工艺的氟化钙单晶超精密加工方法，包括以下步骤：先采用化学机械抛光方法对氟化钙单晶先进行抛光，去除氟化钙表面的表面损伤和亚表面损伤，露出理想的原子层，获得超光滑的晶体表面；再...; 戴一帆解旭辉袁征周林彭文强廖文林; 文献传递

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袁征