邓新绿
- 作品数：59 被引量：238H指数：9
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺核科学技术更多>>
- 类金刚石薄膜在模拟体液中的电化学阻抗被引量：3
- 2005年
- 利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性。利用电化学阻抗谱法考察了两种工艺制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的抗腐蚀性能。结果表明:与采用等离子体增强化学气相沉积技术制备的类金刚石薄膜相比,在72 h的浸泡时间内,采用等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术制备的类金刚石薄膜防腐蚀性能明显增高,腐蚀阻抗较高,碳注入层可有效抑制溶液渗入薄膜和基体之间的界面,起到了腐蚀防护层的作用。动电位极化测试表明:采用复合技术制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的腐蚀倾向性更低,钝态稳定性更好。
- 刘成龙杨大智彭乔邓新绿
- 关键词：类金刚石薄膜电化学阻抗谱模拟体液等离子体增强化学气相沉积
- 用发射探针降落法测量等离子体空间电位被引量：7
- 2004年
- 介绍了一种用发射探针测量等离子体空间电位的方法———"降落法",并利用这种方法测量了双共振腔ECR微波等离子体源的空间电位分布,从中得到该等离子体内部的一些电场信息。给出了不同微波功率和不同压强下Ar等离子体空间电位的分布情况。
- 孙秋普邓新绿马腾才宋远红
- 关键词：等离子体诊断悬浮电位
- 一种射频放电等离子体诊断装置
- 本发明涉及到一种射频放电等离子体诊断装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断射频放电等离子体，能够克服射频放电，特别是两个以上射频同时放电时存在的射频扰动，获得电子密度和电子温度等参数。其特征是由探测器和伺服系统构成，...
- 陆文琪王友年邓新绿徐军董闯
- 溅射沉积Ar等离子体的发射光谱研究
- 方法是诊断等离子体最有力的工具之一，可以定量地给出等离子体的多种重要参数，如等离子本中的物种、能态分布、温度、浓度等。该文介绍了一种用于ECR微波等离子体和辉光放电等离子体诊断的发射光谱装置，其特点是光学收集系统的水平位...
- 张家良王平生陆文琪邓新绿
- 关键词：辉光放电
- 利用LIF法诊断微波等离子体鞘层被引量：8
- 1997年
- 简要地阐明了利用激光诱导荧光法（ＬＩＦ）诊断等离子体特性的原理，分别对二能级情况（共振荧光）与三能级情况（非共振荧光）采用饱和荧光法测量粒子浓度的公式进行了推导．在此基础上。
- 邓新绿吴桂林张家良刘延伟陆文琪刘峰马腾才
- 关键词：微波等离子体鞘层
- Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法被引量：10
- 2005年
- 本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音。上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案。
- 李亚磊邓新绿徐军
- 关键词：LANGMUIR探针抗干扰信噪比
- 掺杂对类金刚石薄膜性能的影响被引量：3
- 2004年
- 类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性。为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能，人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化。总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响。
- 王立达刘贵昌邓新绿
- 关键词：掺杂类金刚石膜摩擦学性能电学性能化学性能
- 超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究被引量：6
- 2004年
- 使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系。通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜。
- 陈曦丁建宁李长生刘东平范真朱守星邓新绿杨继昌
- 关键词：类金刚石膜原子力显微镜
- 类金刚石膜的应用及制备被引量：40
- 2002年
- 类金刚石膜 (DL C)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料 ,由于具有与金刚石膜 (DF)相类似的性能——优异的机械特性、电学特性、光学特性、热学和化学特性以及生物相溶性 ,同时制备方法相对容易实现 ,因此引起人们极大兴趣 ,现在已经应用到很多领域。本文将简要介绍类金刚石膜的性能。
- 马国佳邓新绿
- 关键词：类金刚石膜物理气相沉积化学气相沉积
- 射频等离子体探针装置
- 本发明涉及到一种射频等离子体探针装置，属于等离子体科学与技术领域，用于诊断等离子体。其特征是由双探针、放大驱动电路、模数/数模转换卡和笔记本电脑构成；除置于等离子体中的双探针外，探针装置的其他组成部分远离等离子体放电系统...
- 陆文琪王友年邓新绿徐军董闯
- 文献传递
