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陆锦洪
作品数:
6
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中山大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
周建英
中山大学物理科学与工程技术学院...
谢向生
中山大学物理科学与工程技术学院...
张培晴
中山大学物理科学与工程技术学院...
王嘉辉
中山大学
刘忆琨
中山大学
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一种裸眼立体显示系统及其方法
一种裸眼立体显示系统及其方法,包括两个空间光调制器:分别用于输出立体图像的左、右眼信号;光学系统,用于调节整个系统的位置及匹配;二元光学投影屏幕,用于会聚图像,使其大小适合人眼观看。本发明最大的优点就是图像源的空间占有量...
周建英
周延桂
陆锦洪
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彼得·克雷布斯
范杭
王自鑫
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基于数字微镜器件的液晶光学装置
本发明公开了一种基于数字微镜器件的液晶光学装置,包括用于形成平行光的光源系统、接收平行光并产生多束衍射光的数字微镜器件、用于控制数字微镜器件的计算机控制系统、将多束衍射光会聚并使其相干叠加形成调制图案的成像系统、接收调制...
周建英
谢向生
陆锦洪
刘忆琨
项颖
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基于数字微镜器件亚微米周期结构制备系统
本发明公开了一种基于数字微镜器件亚微米制备系统,其特征在于,包括用于形成平行光的光学系统、接收多束平行光并产生多束衍射光的数字微镜器件、将多束衍射光会聚并使其发生相干叠加的成像系统及用于控制数字微镜器件的计算机控制系统,...
周建英
陆锦洪
谢向生
张培晴
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一种裸眼立体显示系统及其方法
一种裸眼立体显示系统及其方法,包括两个空间光调制器:分别用于输出立体图像的左、右眼信号;光学系统,用于调节整个系统的位置及匹配;二元光学投影屏幕,用于会聚图像,使其大小适合人眼观看。本发明最大的优点就是图像源的空间占有量...
周建英
周延桂
陆锦洪
王嘉辉
彼得·克雷布斯
范杭
王自鑫
文献传递
基于数字微镜器件亚微米制备技术研究
被引量:7
2010年
为了实时、便捷的改变光刻图案以用于微纳光子器件制备,使用数字微镜器件构建了一套无掩模亚微米尺度制备系统.基于阿贝成像原理分析了周期结构在相干光照明下的成像过程,并用数值模拟以及空间滤波实验证明了这个过程.使用此实验系统制作出了周期为900nm的二维结构以及周期为数十微米的带缺陷结构.实验表明,使用数字微镜器件可以方便的制作出亚微米尺度的图案.
陆锦洪
谢向生
张培晴
周建英
关键词:
干涉光刻
傅里叶光学
数字微镜器件
基于数字微镜器件的液晶光学装置
本发明公开了一种基于数字微镜器件的液晶光学装置,包括用于形成平行光的光源系统、接收平行光并产生多束衍射光的数字微镜器件、用于控制数字微镜器件的计算机控制系统、将多束衍射光会聚并使其相干叠加形成调制图案的成像系统、接收调制...
周建英
谢向生
陆锦洪
刘忆琨
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