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郭联峰

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇微加热器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇氮氧化物
  • 2篇电阻
  • 2篇电阻丝
  • 2篇阵列
  • 2篇石墨
  • 2篇石墨烯
  • 2篇气体传感
  • 2篇气体传感器
  • 2篇硫掺杂
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光源
  • 2篇硅片
  • 2篇红外
  • 2篇红外光
  • 2篇红外光源
  • 2篇掺杂

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇李铁
  • 5篇郭联峰
  • 4篇王跃林
  • 2篇王翊
  • 2篇梁晨
  • 2篇刘延祥
  • 2篇周宏
  • 1篇段国韬

传媒

  • 1篇郑州大学学报...

年份

  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2014
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种三维红外光源的制作方法
本发明提供一种三维红外光源及其制作方法，提供一硅片；在该硅片的正反面形成氧化硅薄膜；在正面定义阵列窗口并沿阵列窗口刻蚀氧化硅至暴露出硅表面为止；沿阵列窗口刻蚀硅表面形成硅凹槽阵列；去除硅片正面非刻蚀区域的氧化硅并形成复合...
李铁郭联峰刘延祥王翊周宏王跃林
文献传递
一种三维红外光源及其制作方法
本发明提供一种三维红外光源及其制作方法，提供一硅片；在该硅片的正反面形成氧化硅薄膜；在正面定义阵列窗口并沿阵列窗口刻蚀氧化硅至暴露出硅表面为止；沿阵列窗口刻蚀硅表面形成硅凹槽阵列；去除硅片正面非刻蚀区域的氧化硅并形成复合...
李铁郭联峰刘延祥王翊周宏王跃林
文献传递
基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法
本发明提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法，包括以下步骤：1）提供石墨烯及微加热器平台衬底，将石墨烯转移至微加热器平台衬底上；2）将表面覆盖有石墨烯的微加热器平台衬底置于化学气相沉积反应炉中；3）采用...
李铁郭联峰梁晨王跃林
文献传递
基于微加热器平台的高性能甲烷传感器被引量：3
2016年
设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m^3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m^3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用.
郭联峰许宗珂段国韬李铁
关键词：甲烷传感器模板法
基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器
本实用新型提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器，包括：微加热器平台衬底及硫掺杂石墨烯；所述微加热器平台衬底上设有测试电极及加热器；所述硫掺杂石墨烯至少覆盖所述测试电极。本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传...
李铁郭联峰梁晨王跃林
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