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李科成
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
华中科技大学机械科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘孝刚
武汉光电国家实验室
陈明祥
武汉光电国家实验室
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陈明祥
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刘孝刚
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纳米热压键合技术及其应用
本研究采用纳米多孔铜作为键合层,有效降低了热压键合温度与压力。对于纳米热压键合而言,有助于降低键合温度与压力的可能因素包括:纳米尺寸效应、表面效应、叉指效应、纳米多孔铜杨氏模量降低,键合界面易于变形。目前,基于纳米热压键...
陈明祥
刘孝刚
李科成
关键词:
半导体器件
性能表征
文献传递
用于三维封装的铜-铜低温键合技术进展
被引量:5
2015年
在三维系统封装技术中,金属热压键合是实现多层芯片堆叠和垂直互连的关键技术。为了解决热压键合产生的高温带来的不利影响,工业界和各大科研机构相继开发出了多种低温键合技术。综述了多种不同的低温金属键合技术(主要是Cu-Cu键合),重点阐述了国内外低温金属键合技术的最新研究进展及成果,并对不同低温金属键合技术的优缺点进行了分析和比较。
李科成
刘孝刚
陈明祥
关键词:
三维封装
热压键合
低温键合
电子封装
系统封装
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