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杨惠敏

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇探测器
  • 2篇紫外光探测器
  • 2篇颗粒尺寸
  • 2篇溅射
  • 2篇光电
  • 2篇光电探测
  • 2篇光电探测器
  • 2篇光探测
  • 2篇光探测器
  • 2篇硅基
  • 2篇ZNS薄膜
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇无机非金属
  • 1篇无机非金属材...
  • 1篇溅射靶材
  • 1篇溅射法
  • 1篇工作气体

机构

  • 3篇上海大学

作者

  • 3篇任兵
  • 3篇王林军
  • 3篇黄健
  • 3篇杨惠敏
  • 2篇陶骏
  • 2篇张磊
  • 1篇夏义本
  • 1篇唐可
  • 1篇杨晓蓉

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2014
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种硅基ZnS薄膜紫外可见光光电探测器的制备方法
本发明涉及的是一种硅基ZnS薄膜紫外可见光光电探测器的制造方法，属于无机非金属材料器件制造工艺领域。本发明是采用磁控溅射法，在p型Si衬底上制备n型ZnS薄膜，形成ZnS薄膜/Sipn结结构紫外可见光探测器，为制作高性能...
王林军杨惠敏黄健张磊任兵陶骏张凯勋
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一种硅基ZnS薄膜紫外可见光光电探测器的制备方法
本发明涉及的是一种硅基ZnS薄膜紫外可见光光电探测器的制造方法，属于无机非金属材料器件制造工艺领域。本发明是采用磁控溅射法，在p型Si衬底上制备n型ZnS薄膜，形成ZnS薄膜/Si？pn结结构紫外可见光探测器，为制作高性...
王林军杨惠敏黄健张磊任兵陶骏张凯勋
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一种光伏材料硫化亚铜（Cu<Sub>2</Sub>S）薄膜的制备方法
本发明为一种光伏材料硫化亚铜（Cu<Sub>2</Sub>S）薄膜的制备方法，公开了一种应用于光伏产业的硫化亚铜薄膜的制备技术。所述制备方法是基于直流磁控溅射技术。该工艺以高纯度硫化亚铜为溅射靶材，使用氩气作为工作气体。...
王林军任兵沈心蔚黄健杨晓蓉杨惠敏唐可沈忠文夏义本
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