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黄卫国
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
石艺楠
中国电子科技集团公司第四十五研...
谭立杰
中国电子科技集团公司第四十五研...
赵立华
中国电子科技集团公司第四十五研...
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1篇
2019
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直线电机在半导体设备中的典型应用分析
被引量:1
2019年
随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析。
赵立华
谭立杰
黄卫国
石艺楠
张永昌
关键词:
直线电机
半导体设备
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