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王仲康

作品数：23 被引量：0H指数：0
供职机构：北京工业大学更多>>
相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇中文专利

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 19篇晶圆
  • 8篇吸盘
  • 8篇大尺寸
  • 6篇半导体
  • 6篇半导体制造
  • 6篇半导体制造设...
  • 6篇残余应力
  • 4篇导轨
  • 4篇拉曼
  • 4篇拉曼光谱
  • 4篇光谱
  • 4篇残余应力测试
  • 4篇亚表面
  • 3篇厚度
  • 3篇把手
  • 2篇修整
  • 2篇应变仪
  • 2篇圆角
  • 2篇真空发生器
  • 2篇真空吸盘

机构

  • 23篇北京工业大学

作者

  • 23篇秦飞
  • 23篇安彤
  • 23篇唐亮
  • 23篇王仲康
  • 23篇孙敬龙
  • 13篇宇慧平
  • 13篇陈沛
  • 2篇任超
  • 2篇闫德宝

年份

  • 2篇2018
  • 4篇2017
  • 5篇2016
  • 7篇2015
  • 5篇2014
共 23 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置
一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置，属于半导体制造设备技术领域，其结构简单，操作方便。包括：支脚、回收槽、吸盘支架、吸盘、液体承载部分。回收槽上设有导轨、真空控制开关、废液排放口；吸盘支架内设抽真空管道；液体承载部分包括：滑...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置
一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置涉及半导体制造设备技术领域。其结构简单，操作方便。包括设备支撑底座、吸盘部分、提手部分和电机驱动部分。其特征在于：所述支撑底座位于吸盘边缘且可进行旋转；所述吸盘由二个腔室组成，腔室之间通过可旋...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
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一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪
本发明公开了一种拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具‐定位仪。滑轨卡在转坞的凹槽中沿着转坞的凹槽滑动，转坞绕着转坞轴转动；两个伸缩杆轮齿与转坞壳内部的齿轮进行啮合；转坞壳设计为中空圆柱，上表面预留一个与转坞轴相配合的...
秦飞任超孙敬龙安彤王仲康唐亮
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一种大尺寸磨削晶圆厚度测量夹具
本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆厚度测量夹具，包括检测探头、吸盘、带刻度吸盘载台、带刻度导轨底座。检测探头为锥形；吸盘部分包括：吸孔、定位销、阀门、定位线和吸盘转轴；吸孔用于吸附晶圆，定位销和定位线用于定位测量晶圆，阀门控...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
一种磨削晶圆亚表面残余应力测试方法
一种磨削晶圆亚表面残余应力测试方法，属于残余应力测试领域。其步骤包括：提供磨削晶圆；高压水清洗晶圆；固定晶圆；确定腐蚀位置，进行腐蚀，清洗；分别利用白光干涉仪和激光拉曼光谱对腐蚀深度、残余应力进行测试；重复以上实验步骤即...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
用于检测超薄硅晶圆亚表面损伤深度的试样制备方法
本发明公开了一种用于检测超薄硅晶圆亚表面损伤深度的试样制备方法，它包括如下步骤：(1)将整片晶圆切割为多个样品；(2)取下任意位置样品，并将其粘贴到金属板上；(3)对粘贴好的试样进行磨削、抛光、腐蚀处理；本发明的优点在于...
秦飞闫德宝孙敬龙安彤王仲康唐亮
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一种大尺寸晶圆真空吸盘
一种大尺寸晶圆真空吸盘涉及半导体制造设备技术领域。其包括：吸持面、吸持面固定螺钉、上吸孔、下吸孔、吸盘、多孔物、开孔支撑垫、开孔支撑垫固定螺栓、气道接口、气道接口固定螺栓。吸持面与吸盘通过可拆卸螺钉连接，吸持面与吸盘之间...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
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一种大尺寸晶圆真空吸盘
一种大尺寸晶圆真空吸盘涉及半导体制造设备技术领域。其包括：吸持面、吸持面固定螺钉、上吸孔、下吸孔、吸盘、多孔物、开孔支撑垫、开孔支撑垫固定螺栓、气道接口、气道接口固定螺栓。吸持面与吸盘通过可拆卸螺钉连接，吸持面与吸盘之间...
秦飞孙敬龙安彤陈沛宇慧平王仲康唐亮
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一种大尺寸磨削晶圆残余应力测试方法
本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆残余应力的测试方法，属于残余应力测试领域。其步骤包括：提供磨削晶圆；清洗测试位置粘贴电阻应变计；利用氮气无铅回流焊炉将引线焊于应变仪和应变计接点上，并对应变仪进行校正和清零；在应变花测量圆中...
秦飞孙敬龙安彤王仲康唐亮
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一种磨削晶圆透射电镜试样机械减薄方法
本发明提供了一种磨削晶圆透射电镜试样机械减薄方法。包括下列步骤：提供磨削晶圆，利用晶圆切片机的精确定位和切割功能将晶圆切成尺寸为2-2.3mm×2.3mm大小的方形样块；取<110>晶向处相邻的两个样块进行超...
秦飞孙敬龙安彤王仲康唐亮
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