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郭士超

作品数:9 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院地质与地球物理研究所更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 8篇封装
  • 5篇封装方法
  • 3篇电路
  • 3篇封装结构
  • 3篇感器
  • 3篇MEMS传感...
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇氮化
  • 2篇氮化硅
  • 2篇氮化硅陶瓷
  • 2篇导热
  • 2篇电磁
  • 2篇电磁屏蔽
  • 2篇电磁影响
  • 2篇整体性能
  • 2篇陶瓷
  • 2篇膨胀应力
  • 2篇热沉
  • 2篇热应力

机构

  • 9篇中国科学院

作者

  • 9篇郭士超
  • 5篇薛旭
  • 1篇周显良
  • 1篇辛维

年份

  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 1篇2014
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
MEMS传感器的封装结构及封装方法
本申请提供了一种MEMS传感器的封装结构及封装方法,所述封装结构包括:氮化硅陶瓷基座,用于固定MEMS传感器芯片;内部焊盘,位于所述氮化硅陶瓷基座上表面,与MEMS传感器芯片的信号输出端相连;外部焊盘,位于所述氮化硅陶瓷...
郭士超
文献传递
MEMS传感器的封装结构及封装方法
本申请提供了一种MEMS传感器的封装结构及封装方法,所述封装结构包括:氮化硅陶瓷基座,用于固定MEMS传感器芯片;内部焊盘,位于所述氮化硅陶瓷基座上表面,与MEMS传感器芯片的信号输出端相连;外部焊盘,位于所述氮化硅陶瓷...
郭士超
一种MEMS传感器封装结构及其封装方法
本发明涉及一种MEMS传感器封装结构及其封装方法,其用于封装MEMS传感器,其特征在于,包括:陶瓷基座,所述陶瓷基座的顶层及底层分别设置有多个金属焊盘;所述陶瓷基座顶层的金属焊盘与MEMS传感器的引线连接,所述MEMS传...
薛旭郭士超
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一种MEMS传感器低应力封装管壳及封装系统
本发明提供一种MEMS传感器低应力封装管壳及封装系统,所述封装管壳底端内部设有孤岛结构和应力隔离槽,所述封装管壳底端设有孤岛结构和应力隔离槽,本发明所述应力隔离槽用于隔离封装管壳形变对MEMS芯片的影响,保证MEMS芯片...
郭士超薛旭
文献传递
一种MEMS传感器封装结构及其封装方法
本发明涉及一种MEMS传感器封装结构及其封装方法,其用于封装MEMS传感器,其特征在于,包括:陶瓷基座,所述陶瓷基座的顶层及底层分别设置有多个金属焊盘;所述陶瓷基座顶层的金属焊盘与MEMS传感器的引线连接,所述MEMS传...
薛旭郭士超
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MEMS芯片的封装结构及封装方法
本申请提供了一种MEMS芯片的封装结构及封装方法。一种MEMS芯片的封装结构,其特征在于,包括:外壳,用于放置所述MEMS芯片;引线,用于牵引所述MEMS芯片,使其悬浮在外壳内部,不与外壳接触。本申请提出了一种新的MEM...
郭士超周显良
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一种带热沉和磁屏蔽的MEMS封装及其制备方法
本发明提供了一种带热沉和电磁屏蔽的MEMS封装结构及其制备方法,所述MEMS封装结构包括封装管壳、MEMS芯片和ASIC芯片,所述封装管壳上设有电磁屏蔽通路和快速导热通道,本发明中封装管壳侧壁内置密集的金属垂直通路屏蔽来...
薛旭郭士超
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一种带热沉和磁屏蔽的MEMS封装及其制备方法
本发明提供了一种带热沉和电磁屏蔽的MEMS封装结构及其制备方法,所述MEMS封装结构包括封装管壳、MEMS芯片和ASIC芯片,所述封装管壳上设有电磁屏蔽通路和快速导热通道,本发明中封装管壳侧壁内置密集的金属垂直通路屏蔽来...
薛旭张潇筱辛维郭士超
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厚度可控的贴片装置
本实用新型提供了一种MEMS传感器封装中的贴片装置,包括:厚度控制结构,其特征在于,在厚度方向上高度一定,在与厚度垂直的贴片平面方向上任意延展,且所述厚度控制结构贴片平面上分布有贯通厚度方向的孔隙;贴片胶,填充于所述厚度...
郭士超
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共1页<1>
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