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聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析被引量：1: 2015年; 聚焦离子束(FIB)纳米制造技术已经成为微纳米尺度功能器件加工的一种重要方法,利用聚焦离子束直写加工可实现复杂二维微纳结构的高精度制造.然而由于离子溅射产额随入射角度非线性变化规律、再沉积现象及离子束能量分布特性的综合影响,FIB在三维结构加工中会存在复杂形貌误差.针对FIB加工凹面中存在的典型平底现象这一形貌误差进行了分析和实验研究,通过仿真分析和FIB加工直径4,μm锥形凹坑结构的实验验证,阐明了聚焦离子束高斯能量分布特性与溅射产额规律耦合是产生平底现象的主要原因,为FIB三维结构加工的误差的修正提供了重要的基础和依据.; 徐宗伟申雪岑李云涛李康林枫贾瑞丽; 关键词：聚焦离子束高斯分布

表面增强拉曼散射基底制造方法的研究现状被引量：3: 2017年; 本文回顾了近年来表面增强拉曼散射(surface enhanced Raman scattering,SERS)基底制造方法的研究发展现状.重点就基于新型微纳加工技术发展起来的SERS基底制备方法,包括能量束刻蚀技术、自组装及纳米球刻蚀技术等展开介绍.阐述了SERS技术在机理研究、痕量检测、传感器等方面的应用.最后,对SERS基底研究进行了展望.; 徐宗伟李康裴君妍宋莹高婷婷王李阳; 关键词：表面增强拉曼散射

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李康