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张学富

作品数：26 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：金属学及工艺一般工业技术电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 24篇石墨
  • 23篇石墨烯
  • 10篇单晶
  • 7篇晶圆
  • 5篇合金
  • 5篇衬底
  • 4篇电极
  • 4篇铜基
  • 4篇退火
  • 4篇金属
  • 4篇金属电极
  • 3篇单晶薄膜
  • 3篇电子领域
  • 3篇微电子领域
  • 3篇金薄膜
  • 3篇合金薄膜
  • 3篇催化
  • 2篇氮化
  • 2篇氮化硼
  • 2篇电镀

机构

  • 26篇中国科学院

作者

  • 26篇张学富
  • 24篇吴天如
  • 22篇谢晓明
  • 21篇王浩敏
  • 14篇卢光远
  • 12篇江绵恒
  • 9篇陈吉
  • 9篇谢红
  • 6篇孙秋娟
  • 5篇杨超
  • 2篇唐述杰
  • 2篇丁古巧
  • 2篇邓联文
  • 2篇李蕾
  • 2篇姜达
  • 1篇刘晓宇
  • 1篇高波
  • 1篇贺立

传媒

  • 1篇科技纵览

年份

  • 1篇2023
  • 2篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 6篇2017
  • 3篇2016
  • 3篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2013
共 26 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
石墨烯的生长方法
本发明提供一种石墨烯的生长方法，至少包括以下步骤：S1：提供一绝缘衬底，将所述绝缘衬底放置于生长腔室中；S2：将所述绝缘衬底加热到预设温度，并在所述生长腔室中引入含有催化元素的气体；S3：在所述生长腔室中通入碳源，在所述...
王浩敏唐述杰卢光远吴天如姜达丁古巧张学富谢红谢晓明江绵恒
文献传递
一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法
本发明提供一种柔性衬底上制备石墨烯器件的方法，所述方法至少包括：1)提供一柔性衬底，将所述柔性衬底粘附至一硬性衬底，并在所述柔性衬底上形成石墨烯导电沟道；2)采用电子束曝光图形化形成源、漏电极图形，沉积金属并剥离在所述石...
王浩敏谢红王慧山孙秋娟陈吉张学富吴天如谢晓明江绵恒
一种石墨烯晶畴的制备方法
本发明提供一种石墨烯晶畴的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一镍片和一抛光的铜箔，将所述铜箔置于保护气体中退火；以含镍化合物和硼酸为溶质配置镍电镀溶液；将镍片和退火后的铜箔放入盛有镍电镀溶液的电解槽中通电，使铜箔被电镀后...
卢光远吴天如杨超张学富
文献传递
一种降低石墨烯与电极接触电阻的方法
本发明提供一种降低石墨烯与电极接触电阻的方法，包括步骤：首先，提供衬底，在所述衬底上形成石墨烯；然后，在所述石墨烯表面形成暴露出石墨烯两端的边缘的BN薄膜，；接着，定义源、漏电极区域，形成金属催化层，并在氢气气氛中进行退...
王浩敏谢红王慧山孙秋娟卢光远陈吉张学富吴天如谢晓明江绵恒
文献传递
“黑金”与“白石墨”的联姻
2017年
“黑金”石墨烯与“白石墨”六方氮化硼能够互取所长，碰撞出新的火花，为石墨烯微电子应用基础研究领域带来新的可能。
王浩敏吴天如贺立张学富卢光远陈令修
关键词：石墨六方氮化硼电子应用碰撞
晶圆级石墨烯单晶形核控制与快速生长机理研究
本文作者对石墨烯单晶的快速可控制备提出了独创性的研究思路和制备方案。通过向具有一定溶碳能力的Cu85Ni15合金表面局域提供碳源，产生局部碳浓度过饱和，成功解决了石墨烯单个核心控制形核这一技术难题。研究发现，Cu85Ni...
吴天如张学富袁清红卢光远谢晓明江绵恒
关键词：石墨烯单晶生长性能表征
一种铜基织构薄膜衬底上制备石墨烯单晶晶圆的方法
本发明提供一种铜基织构薄膜衬底上制备石墨烯单晶晶圆的方法，包括以下步骤：S1：提供一种铜基织构薄膜衬底，将所述铜基织构薄膜衬底置于化学气相沉积系统中进行退火处理；以及S2：通入气态碳源，在所述铜基织构薄膜衬底表面外延生长...
张学富吴天如王浩敏于庆凯谢晓明
一种石墨烯闪存存储器的制备方法
本发明提供一种石墨烯闪存存储器的制备方法，所述方法采用单层或者多层的连续石墨烯薄膜替代多晶硅栅或者氮氧化物存储电荷，能够在有限的物理空间内提高电荷存储容量，由于石墨烯厚度较薄，缩小器件纵向尺寸的同时，消除器件中电容耦合的...
王浩敏谢红王慧山李蕾卢光远张学富陈吉吴天如谢晓明江绵恒
文献传递
一种低温制备石墨烯单晶晶圆的方法
本发明涉及一种低温制备石墨烯单晶晶圆的方法，包括：在单晶绝缘衬底表面沉积一层二元铜基合金薄膜，将该合金薄膜置于化学气相沉积系统中进行退火处理，通入气态碳源，低温下外延生长石墨烯单晶晶圆。该方法降低石墨烯的褶皱，进而提高石...
张学富王浩敏吴天如于庆凯谢晓明
文献传递
局域供碳装置及局域供碳制备晶圆级石墨烯单晶的方法
本发明提供一种局域供碳装置及局域供碳制备晶圆级石墨烯单晶的方法，方法包括：提供局域供碳装置；制备镍铜合金衬底，将镍铜合金衬底置于局域供碳装置内；将放置有镍铜合金衬底的局域供碳装置置于化学气相沉积系统的腔室中，在局域供碳装...
吴天如张学富卢光远杨超王浩敏谢晓明江绵恒
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