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一种隧道式MEMS陀螺仪: 本发明公开了一种隧道式MEMS陀螺仪，属于微机电系统技术领域。本发明提供的隧道式MEMS陀螺仪包括一块正16边形的薄板作为敏感质量键合在玻璃衬底上，正16边型的每一条边对应1个电极，16个电极分为4组，分别作为驱动电极、...; 陈李田颖温中泉陈刚; 文献传递

一种具有应力隔离结构的扭摆式电容加速度计被引量：3: 2016年; 基于硅-玻璃键合工艺的扭摆式加速度计,其信号输出对扭转梁上的应力极敏感,而微加工过程中由于硅、玻璃两种材料热膨胀系数不匹配,会在扭转梁上引入较大的热应力,进而引起加速度计温度漂移。为此,提出一种具有应力隔离结构的扭摆式电容加速度计。通过缓冲折叠梁和内支撑框架的优化组合,使热应力难以传递到扭转梁上,从而有效降低加速度计的温度漂移。使用ANSYS软件对加速度计进行了模态和热应力分析,结果表明:工作模态的固有频率为1 352 Hz,远小于其他干扰模态的频率;加速度计的灵敏度为0.386pF/g(g=9.8m/s2);相同条件下,不带隔离结构的扭摆加速度计的热应力主要集中在扭转梁的末端,其最大应力约100 MPa;具有应力隔离结构的加速度计,其热应力主要集中在缓冲折叠梁上,而扭转梁上的应力约为1.7 MPa,仅为前者的1.7%。采用硅-玻璃键合和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺,完成了加速度计芯片的制作。; 李源陈李田颖赵斌王亚运; 关键词：微机电系统加速度计 ICP刻蚀

微陀螺滑模控制器中的积分算法设计（英文）被引量：3: 2016年; 为了去除不定积分环节产生的直流偏置项,提出了一种基于"一次移动平均法"的改进积分算法。利用一个整数周期的积分信号值构成一个集合,计算出集合的算术平均值作为瞬时直流偏置,将原积分信号减去该直流偏置,最终可得到无直流偏置项的积分信号。为实时更新直流偏置,在每个时钟上升沿将一个积分信号的新采样值加入集合尾部,并去除集合首部的数值点,从而确保集合长度维持固定值并能实时反映出最新的直流偏置。以FPGA为信号处理平台,采用Modelsim仿真和实验测试相结合的方法验证了该算法的可行性。该方法已成功用于电磁式微陀螺仪的滑模控制器之中。同已有方法相比,该积分算法复杂度低、实时性好、易于实现。; 田颖陈李陈丹华王亚运; 关键词：直流偏置滑模控制器

一种MEMS电涡流加速度计及制备方法: 本发明公开了一种MEMS电涡流加速度计，包括金属基底、金属结构、电极和电感线圈；所述金属结构包括质量块和矩形的支撑框架，所述支撑框架设置于金属基底上，所述质量块位于支撑框架内，所述质量块的左、右两侧各设置一个弹性梁与支撑...; 陈李李源田颖陈刚温中泉; 文献传递

硅微机械陀螺仪滑模变结构控制研究: 硅微机械陀螺仪自问世以来以其小体积、低成本、高可靠性等优势受到高度关注。微机械振动式陀螺仪是基于哥氏效应，通过检测由哥氏加速度产生的质量块振动，间接测量出载体的旋转角速度。为保证陀螺仪的测量精度，需对其驱动模态的振幅进行...; 田颖; 关键词：滑模控制驱动技术数字电路

教育培训行业借壳上市风险及路径探索——以华图教育、中公教育为例: 教育培训行业是国家大力支持和发展的朝阳产业，国家相关部委出台了一系列支持教育培训行业发展的法律法规和产业政策。新版《民办教育促进法》的出台促进了民营资本进入教育行业，非学历职业教育的发展空间广阔，教育培训行业进入快速发展...; 田颖; 关键词：借壳上市风险规避交易方案

一种MEMS电涡流加速度计及制备方法: 本发明公开了一种MEMS电涡流加速度计，包括金属基底、金属结构、电极和电感线圈；所述金属结构包括质量块和矩形的支撑框架，所述支撑框架设置于金属基底上，所述质量块位于支撑框架内，所述质量块的左、右两侧各设置一个弹性梁与支撑...; 陈李李源田颖陈刚温中泉; 文献传递

一种隧道式MEMS陀螺仪: 本发明公开了一种隧道式MEMS陀螺仪，属于微机电系统技术领域。本发明提供的隧道式MEMS陀螺仪包括一块正16边形的薄板作为敏感质量键合在玻璃衬底上，正16边型的每一条边对应1个电极，16个电极分为4组，分别作为驱动电极、...; 陈李田颖温中泉陈刚; 文献传递

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田颖