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王晨曦

作品数：15 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院沈阳自动化研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇中文专利

领域

  • 5篇自动化与计算...

主题

  • 9篇半导体
  • 7篇天车
  • 6篇半导体生产
  • 6篇半导体生产线
  • 3篇调度
  • 2篇信息修改
  • 2篇移动控制
  • 2篇数据包
  • 2篇物料
  • 2篇协调控制
  • 2篇逻辑控制
  • 2篇逻辑控制器
  • 2篇晶圆
  • 2篇可编程逻辑
  • 2篇可编程逻辑控...
  • 2篇可编程逻辑控...
  • 2篇空闲
  • 2篇空闲状态
  • 2篇控制器
  • 2篇扩展性

机构

  • 15篇中国科学院

作者

  • 15篇王晨曦
  • 14篇金妮
  • 14篇刘明哲
  • 13篇徐皑冬
  • 2篇王锴
  • 2篇张吉龙
  • 1篇刘健
  • 1篇徐皑东
  • 1篇胡志强
  • 1篇许以军
  • 1篇王志平
  • 1篇闫炳均
  • 1篇刘元锋
  • 1篇张鑫
  • 1篇王亚楠

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 9篇2015
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法
本发明涉及一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法，装置包括控制器、LK‑G30传感头、LK‑G500传感头、电源模块和上位机；方法包括在一个周期内，设定机械手的若干个设定位置，控制机械手运动到达设定位置，并通过LK‑G5...
金妮徐皑东刘明哲张吉龙王晨曦王锴王志平闫炳均胡波
面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法
本发明涉及面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法，在天车上安装信号收发器，在与岔道各分支相连接的轨道上设置光发送/接收装置；可编程逻辑控制器根据光通讯控制器采集光发送/接收装置的信号，控制天车的运行，包括以下步...
刘明哲徐皑冬金妮王晨曦
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面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法
本发明涉及面向半导体生产线搬运系统的轨道与天车协调控制方法，在天车上安装信号收发器，在与岔道各分支相连接的轨道上设置光发送/接收装置；可编程逻辑控制器根据光通讯控制器采集光发送/接收装置的信号，控制天车的运行，包括以下步...
刘明哲徐皑冬金妮王晨曦
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一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法
本发明涉及一种面向半导体生产线搬运系统软件故障快速恢复方法，包括以下步骤：将生产线搬运系统的控制主机与从机连接，分别同时运行相同的搬运系统控制软件并进行数据同步；当主机发生故障时，从机发出报警并接替主机对搬运系统进行控制...
刘明哲徐皑冬金妮王晨曦
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一种基于物料传输系统的信息传输方法
本发明涉及一种基于物料传输系统的信息传输方法，包括以下步骤：物料传输系统的客户端将需要传输的系统信息转化为一定格式的数据包，测试服务器开启；如开启，向服务器发送数据包；如果服务器没有开启，则报告错误并退出本次数据传送；服...
刘明哲徐皑冬金妮王晨曦
一种半导体搬运系统天车运动表现方法
本发明涉及一种半导体搬运系统天车运动表现方法，包括以下步骤：利用WPF的窗口作为动画画布；在画布中创建天车图形对象作为动画对象模板，并设置成隐藏；先在画布坐标系内绘制轨道静态图；使用复制的方式把对象模板按实际天车的个数复...
金妮刘明哲徐皑冬王晨曦
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一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法
本发明涉及一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法，包括以下步骤：当搬运系统规划出天车移动路线后，检路线内是否存在其它天车。如果不存在，直接发送移动命令让天车移动到目的地。如果存在其它天车，若天车是空闲状态则对计算...
王晨曦刘明哲徐皑冬金妮
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一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统
本发明涉及一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统，包括系统初始化模块、通信模块、传输任务处理模块、调度模块、执行模块、物料跟踪模块、错误与异常处理模块。本发明所提供的多腔室晶圆加工设备传输控制系统一方面实现了多腔室加工设备中...
刘明哲徐皑冬王亚楠金妮王晨曦刘元锋
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一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法
本发明涉及一种IC装备人机交互界面可定制数据显示方法，包括以下步骤：在XML配置文件中配置IC装备参数并保存；IC装备人机交互界面加载并解析XML配置文件，根据IC装备参数创建控件；IC装备人机交互界面实时显示设备端发来...
王晨曦刘明哲徐皑冬金妮
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一种基于物料传输系统的信息传输方法
本发明涉及一种基于物料传输系统的信息传输方法，包括以下步骤：物料传输系统的客户端将需要传输的系统信息转化为一定格式的数据包，测试服务器开启；如开启，向服务器发送数据包；如果服务器没有开启，则报告错误并退出本次数据传送；服...
刘明哲徐皑冬金妮王晨曦
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