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霍树春

作品数：35 被引量：3H指数：1
供职机构：天津大学更多>>
发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 4篇会议论文
  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 8篇机械工程
  • 7篇理学
  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 12篇光学
  • 11篇光谱
  • 10篇分束器
  • 9篇差分
  • 7篇偏振
  • 6篇入射
  • 5篇反射光
  • 4篇信号
  • 4篇图像
  • 4篇偏振光
  • 4篇斜入射
  • 4篇汇聚
  • 4篇光谱测量
  • 4篇光学模型
  • 4篇高深宽比
  • 4篇差分信号
  • 3篇显微图像
  • 3篇光学测量
  • 3篇反射光谱
  • 2篇单色仪

机构

  • 35篇天津大学
  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇中国科学院微...
  • 1篇成都工业学院

作者

  • 35篇霍树春
  • 32篇胡春光
  • 18篇胡小唐
  • 16篇胡晓东
  • 11篇王浩
  • 6篇李艳宁
  • 5篇刘晶
  • 2篇刘璐
  • 2篇时春峰
  • 2篇多伦雷丹特
  • 2篇曾荟燕
  • 2篇孙立东
  • 2篇张云川
  • 2篇谢鹏飞
  • 1篇张雷
  • 1篇张雷

传媒

  • 2篇红外与毫米波...
  • 1篇计测技术
  • 1篇中国仪器仪表...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 6篇2022
  • 6篇2021
  • 8篇2020
  • 1篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
共 35 条 记 录，以下是 1-10
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一种分源定位真空管式炉装置
本发明属于化学气相沉积真空设备及微纳薄膜生产技术领域，具体公开了一种分源定位真空管式炉装置，包括气体流量控制器、置源组件、第一法兰盘、管式炉石英管和第二法兰盘，置源组件包括第一接口、置源管、伸缩管和测温管，置源管和气体流...
胡春光马国腾沈万福霍树春
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基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统和方法
本发明涉及一种基于彩色相机的二维材料形貌快速表征系统及方法，包括三色光源模块、分束器、测量光路、彩色成像模块与数据处理模块，其中：三色光源模块，用于整个系统的照明；分束器，用于将三色光源模块产生的照明光束分成两路光束，分...
胡春光王浩霍树春姚程源曲正胡晓东胡小唐
文献传递
表面高灵敏光谱技术
表面/界面是纳米科学和技术研究重要的载体和场所。在尺度效应的巨大作用下，表面及基于表面的纳米结构常呈现出与宏观尺度截然不同的特性。近三十年来，用于研究这些新特性的纳米测量方法取得了飞速发展。基于探针、光学、电子束/离子束...
胡春光张雷霍树春孙立东胡小唐
关键词：超薄膜
高深宽比微结构深度一致性的光学测量与评估方法
本发明公开了一种高深宽比微结构深度一致性的光学测量与评估方法：加工硅基高深宽比单体微结构标准样品，确定其形貌参数以及折射率；修正测量仪器的暗场噪声与透光系数；建立多深度的高深宽比微结构的几何模型和光学模型；获得待测样品反...
胡春光王子政霍树春武飞宇沈万福刘晶
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旋转离心量对旋涂薄膜晶态影响在线光学测量系统及方法
本发明公开了一种旋转离心量对旋涂薄膜晶态影响在线光学测量系统及方法，包括光源模块(100)、入射光束调整模块(200)、偏振态调控模块(300)、偏振态检测模块(400)和光束采集模块(500)，光源模块(100)输出准...
霍树春胡春光沈万福胡晓东胡小唐王浩
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一种斜入射式光谱型反射差分测量装置及方法
本发明公开了一种斜入射式光谱型反射差分测量装置及方法，入射臂组件依次包括：宽光谱白光光源、单色仪、准直透镜组及可变相位液晶延迟器；反射臂组件依次包括：光弹调制器、检偏器、汇聚透镜组和光电探测器；准直透镜组对由光源出射的光...
沈万福胡春光马国腾霍树春
一种自洽验证差分光谱仪及测量方法
本发明公开了一种自洽验证差分光谱仪和测量方法，通过设置一非偏振分束器，一束光实现斜入射反射差分模块测试，另一束光用来实现斜入射差分反射模块测试，本方法可实现秒级的宽光谱差分反射信号和反射差分信号的同时测量，基于两种测量信...
沈万福胡春光马国腾霍树春
实现高深宽比微沟槽深度测量的对比光谱系统及测量方法
本发明公开了一种实现高深宽比微沟槽深度测量的对比光谱系统及测量方法，包括光源模块(100)、分束镜(200)、样品测量模块(300)、参考物测量模块(400)以及光谱采集模块(500)；所述光源模块(100)输出设定直径...
胡春光武飞宇霍树春曲正王浩沈万福胡晓东胡小唐刘晶
文献传递
面向层状微纳结构的反射差分光学测量方法与仪器研究
随着二维材料的兴起，层状微纳结构成为当前研究热点之一，其结构特点在于纳米量级的厚度以及微米量级的横向尺寸，具有极高的宽/高比。由于受到衬底/基底的影响，层状微纳结构的形貌测量变得更加困难，特别是其空间二维分布和相对位置的...
霍树春
面内各向异性晶体晶轴定向方法及设备
本公开提供一种面内各向异性晶体材料晶轴定向方法及设备，包括：步骤A：在被测晶体的被测表面上设置基准方位线；步骤B：利用偏振光照射被测晶体的被测表面并接收反射光；步骤C：改变偏振光的偏振角度，利用不同偏振角度下的反射光强度...
胡春光孙兆阳沈万福霍树春胡晓东胡小唐
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