贾志浩
- 作品数：11 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”山西省基础研究计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 流式细胞仪系统中液体变焦透镜的设计与制作
- 2015年
- 以聚二甲基硅烷(PDMS)为基础,设计制作了一种封闭式液体变焦透镜。通过对PDMS薄膜形变情况的仿真分析,利用Matlab数学建模与ANSYS结构仿真,得到薄膜形变结果,确定了合理的透镜腔体结构。在制备工艺上,首先利用SU-8模型制作了PDMS透镜腔,再使用混合PDMS制作出腔体的盖片;然后将两部分进行表面处理后键合,注射填充液、完成二次封装;最后对透镜的表面形变和焦距变化进行了测试,根据测试结果绘制了焦距-磁通量曲线。测试中,在磁通量从200mT到600mT的过程中,焦距由22.0mm变为20.2mm。结果表明,以本文方法制作变焦透镜,可以简化工艺步骤,降低制造成本,减小整体体积,焦距可控,有着更好的密封性,受外界环境干扰小。
- 贾志浩段俊萍王伟王伟毛静王明焕
- 基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法
- 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术，具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率...
- 张斌珍南雪莉孙玉洁王伟贾志浩毛静崔建利赵龙徐苏萍
- 基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法
- 本发明涉及喇叭天线的制作方法，具体为基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法，包括以下步骤：选取基片，基片清洗后旋涂感光胶并紫外光刻，得到喇叭天线阵列的模具；在模具上覆盖一层可固化的柔性材料，待柔性材料固化后揭下模具，...
- 张斌珍薛晨阳段俊萍崔建利王伟贾志浩毛静南雪莉
- 文献传递
- 基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作(英文)
- 2015年
- 集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差,使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1 200μm,微柱侧壁与基底呈89°。
- 王伟王伟贾志浩段俊萍崔建利张斌珍
- 关键词：探针坐标测量机微机电系统
- 基于MEMS开关的程控步进衰减器
- 本发明涉及微波通讯领域中的衰减器，具体为基于MEMS开关的程控步进衰减器，包括三组T型网络衰减单元，三组T型网络衰减单元都包括衰减开关和短路开关，T型网络衰减单元还包括衰减模块，通过单片机控制衰减开关和短路开关的通断来对...
- 张斌珍薛晨阳贾志浩王伟毛静南雪莉
- 文献传递
- 基于紫外厚胶的探针加工工艺被引量：1
- 2015年
- 研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚达几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴。最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。由于此工艺与传感器工艺相容,探针可以直接制作在集成了传感器的测头基底上,大幅减少了装配误差。
- 王伟王伟张斌珍贾志浩段俊萍崔建利
- 关键词：SU-8胶探针坐标测量机
- 基于MEMS开关的程控步进衰减器
- 本发明涉及微波通讯领域中的衰减器，具体为基于MEMS开关的程控步进衰减器，包括三组T型网络衰减单元，三组T型网络衰减单元都包括衰减开关和短路开关，T型网络衰减单元还包括衰减模块，通过单片机控制衰减开关和短路开关的通断来对...
- 张斌珍薛晨阳贾志浩王伟毛静南雪莉
- 文献传递
- 基于PDMS的纳米级光栅制作方法
- 本发明涉及光栅制作技术领域，具体为一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，解决了现有的纳米光栅制作方法所用设备昂贵、工艺条件苛刻复杂、难以控制、制作成本高、周期长的问题。一种基于PDMS的纳米级光栅制作方法，包括如下步骤：...
- 闫树斌段俊萍张斌珍王万军王伟崔敏贾志浩张勇杨潞霞毛静范新磊姚德启
- 文献传递
- 基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法
- 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术，具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率...
- 张斌珍赵锐南雪莉孙玉洁王伟贾志浩毛静崔建利赵龙徐苏萍
- 文献传递
- 基于MEMS开关的射频衰减器的设计制作被引量：2
- 2015年
- 提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC^20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行电路匹配;然后按所需衰减量计算T型网络中各个电阻大小;按照计算值,在CST微波工作室中建模仿真得到工艺加工需要的尺寸;最后结合UV-LIGA工艺对衰减器进行了样片试制并对其性能进行了测试。测试结果显示,在DC^20 GHz内,目标衰减量为10 dB时,最大偏差可以控制在2 dB之内。结果表明,以MEMS开关为基础的衰减器,可以在宽频带内实现更加稳定的衰减。
- 贾志浩段俊萍王伟王伟毛静崔建利赵龙王明焕
- 关键词：MEMS开关射频衰减器UV-LIGA宽频带
