薛峰 作品数:3 被引量:3 H指数:1 供职机构: 成都工具研究所有限公司 更多>> 发文基金: 国家科技重大专项 更多>> 相关领域: 金属学及工艺 一般工业技术 机械工程 更多>>
添加元素对TiAlN涂层性能影响的研究现状 被引量:3 2015年 综述了Ti Al N涂层的特征,以及添加单一元素(Cr、Si、V、Mo、Y、Zr、B)对三元基Ti-Al-N涂层性能的影响。各种元素添加对涂层的性能影响作用点有所不同,但总体上均能提高涂层的综合性能。可进一步加强多组元元素添加对Ti Al N涂层性能影响的综合研究。 薛峰 曾祥才 吴春涛 周应涛关键词:涂层 负载率对多层复合化学涂层工艺稳定性影响的研究 2017年 从改变负载率入手,借助球痕仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、EDX等先进检测设备,研究多层复合化学涂层工艺的稳定性问题。结果表明,负载率不可能超过50%,大多看似不同的装载量,单层负载率较高,其实总负载率约为10%-20%,对涂层工艺的稳定性影响较小,产品性能总体稳定,总负载率大于20%以上的稳定性情况还有待进一步验证。 薛峰 吴春涛 周应涛 彭前飞关键词:负载率 稳定性 混合气体比例对脉冲直流PCVD制备TiN/TiSiN涂层的影响 2015年 采用工业用直流脉冲等离子体增强化学气相沉积PCVD技术在硅烷、氢气和氮气的混合气氛下成功制备了Ti Si N涂层,重点讨论了混合气体比例对薄膜性能的影响。结果表明:当混合气体中H2∶N2为4∶1、硅烷流量为2sccm时,Ti N/Ti Si N涂层中硅含量为8.01at%,此时,获得此工艺薄膜的最高硬度为28GPa。 吴春涛 周彤 曾祥才 薛峰 胡恒宁关键词:PCVD TI SI N