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丁翔宇

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇数字微镜
  • 3篇光刻
  • 2篇荧光
  • 2篇数字微镜器件
  • 2篇透镜
  • 2篇凸透镜
  • 2篇紫外
  • 2篇紫外荧光
  • 2篇微流控
  • 2篇微流控芯片
  • 2篇滤光镜
  • 2篇光刻胶
  • 1篇掩模
  • 1篇衍射
  • 1篇衍射模型
  • 1篇数字光刻
  • 1篇无掩模
  • 1篇光束
  • 1篇光束整形
  • 1篇DMD

机构

  • 3篇中国科学技术...

作者

  • 3篇丁翔宇
  • 2篇任煜轩
  • 2篇卢荣德

年份

  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种基于数字微镜器件的微流控芯片加工与检测实验装置
一种基于数字微镜器件的微流控芯片加工与检测实验装置，包括紫外LED光源、第一双凸透镜、第一反射镜、DMD器件、双色镜、第一显微镜物镜、三维电动平台、第二显微镜物镜、第二双凸透镜、白光LED光源、第二反射镜、滤光镜、第三双...
丁翔宇任煜轩卢荣德
文献传递
基于数字微镜芯片的无模光刻微加工技术研究
微加工技术是当今一种最基本的现代科学技术。它源自半导体加工工艺，多用于硅基材料，且多为二维平面结构，基于传统光刻技术。而微加工则是最主要也是最成功的技术，传统光刻技术在半导体工业中发挥了极其重要的作用。但对于生物，化学，...
丁翔宇
关键词：数字微镜光束整形
文献传递
一种基于数字微镜器件的微流控芯片加工与检测实验装置
一种基于数字微镜器件的微流控芯片加工与检测实验装置，包括紫外LED光源、第一双凸透镜、第一反射镜、DMD器件、双色镜、第一显微镜物镜、三维电动平台、第二显微镜物镜、第二双凸透镜、白光LED光源、第二反射镜、滤光镜、第三双...
丁翔宇任煜轩卢荣德
文献传递
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共1页<1>
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