郑鑫
- 作品数：14 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种121.6nm窄带负滤光片及其制备方法
- 本申请公开了一种121.6nm窄带负滤光片及其制备方法，该方法包括：确定制备121.6nm窄带负滤光片时所需的多层膜的镀膜材料以及相应的基础膜系结构；基于镀膜材料以及基础膜系结构，计算相应的等效导纳以及位相厚度；根据等效...
- 王孝东陈波王海峰郑鑫
- 文献传递
- 一种远紫外宽带反射滤光片
- 本发明涉及一种远紫外宽带反射滤光片，包括：基底和Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜；所述Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜设置在所述基底上；所述Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜...
- 王孝东陈波王海峰何飞刘世界郑鑫马月英
- 文献传递
- 一种双波段冷镜的制作方法及装置
- 本发明提供了一种双波段冷镜的制作方法及装置，所述方法克服了远紫外波段材料色散现象严重和材料吸收不可忽略等设计难点，采用的非对称高斯包络剪裁膜厚调制方法有创新性，在计算机光学薄膜软件优化过程中，用高斯型曲线来表示121.6...
- 王孝东陈波王海峰郑鑫
- Ge薄膜性能及其在光子计数成像探测器中的应用被引量：4
- 2014年
- 为改善光子计数成像探测器电荷感应层的性能,提高光子计数成像系统的成像质量,分别用直流磁控溅射法(DC)与射频磁控溅射法(RF)制备了不同厚度的Ge薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、表面轮廓仪、四探针表面电阻测试仪对两种方法所制备的薄膜进行了结构特征与电学性能的表征。结果表明:两种方法所制备的薄膜均为非晶态结构,DC制备的Ge薄膜比RF制备的Ge薄膜稀疏,其不同膜厚下的电阻率均大于RF所制备的薄膜。实验显示,薄膜越厚其电学性能受氧化影响越小,电学性能越稳定。实验对比了不同方阻下Ge薄膜应用于探测器的成像性能,结果表明:方阻在百兆级范围内时成像效果较好,且方阻变化时成像效果变化不大,但方阻大到2GΩ/□时会导致系统分辨率下降。
- 李云鹏郑鑫张宏吉王孝东陈波曹健林
- 关键词：磁控溅射
- 一种远紫外宽带反射式介质滤光片及其制备方法
- 一种远紫外宽带反射式介质滤光片及其制备方法，属于光学薄膜技术领域，为满足广角极光成像仪成像的需要，该滤光片包括：基底和LaF<Sub>3</Sub>/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜；LaF<Sub>3</Su...
- 王孝东陈波王海峰何飞刘世界郑鑫马月英
- 文献传递
- 光子计数成像探测器电荷感应层Ge薄膜特性研究
- 2016年
- 为了研究光子计数成像系统中感应电荷层Ge薄膜的制备工艺,改善光子计数成像系统的成像稳定性,采用直流磁控溅射法在熔石英衬底上制备了Ge薄膜,分析了工作气体Ar气通入量对Ge薄膜沉积速率的影响,利用表面轮廓仪及四探针表面电阻仪对样品分别进行了表面粗糙度及电学性能的表征。结果表明:随着Ar气通入量的增加,Ge薄膜沉积速率先上升后下降,在Ar气通入量为15sccm时,Ge薄膜的沉积速率出现极大值;Ge薄膜的表面粗糙度及薄膜电阻率均随着Ar气通入量的升高而增大;薄膜越厚,其电阻受氧化影响越小,电学性能越稳定。
- 郑鑫陈波王孝东张宏吉李云鹏于再超
- 关键词：直流磁控溅射沉积速率电学性质
- 一种窄带负滤光片的制作方法及装置
- 本发明提供的窄带负滤光片的制作方法及装置，先获取所需窄带负滤光片对应的中心波长，根据所述中心波长在基底上进行膜厚调制得到第一窄带负滤光片，对完成膜厚调制的第一窄带负滤光片进行振幅裁剪得到所需窄带负滤光片，具有较高的反射率...
- 王孝东陈波王海峰郑鑫
- 一种远紫外宽带反射滤光片
- 本发明涉及一种远紫外宽带反射滤光片，包括：基底和Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜；所述Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜设置在所述基底上；所述Al/MgF<Sub>2</Sub>非周期多层膜...
- 王孝东陈波王海峰何飞刘世界郑鑫马月英
- 一种日盲反射式介质滤光片及其制备方法
- 一种日盲反射式介质滤光片及其制备方法，属于光学薄膜技术领域，为满足日盲波段辐射目标的探测和识别系统的需要，该滤光片为LaF<Sub>3</Sub>和MgF<Sub>2</Sub>交替沉积在基底上，靠近基底侧膜层为LaF<...
- 王孝东陈波王海峰刘世界郑鑫马月英
- 文献传递
- 一种双波段冷镜的制作方法及装置
- 本发明提供了一种双波段冷镜的制作方法及装置，所述方法克服了远紫外波段材料色散现象严重和材料吸收不可忽略等设计难点，采用的非对称高斯包络剪裁膜厚调制方法有创新性，在计算机光学薄膜软件优化过程中，用高斯型曲线来表示121.6...
- 王孝东陈波王海峰郑鑫
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