王锁成
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：沈阳理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
- MEMS面内电热微驱动器中U型梁的分析被引量：1
- 2015年
- 介绍了一种单刀双掷面内电热微驱动器。基于U型梁受热膨胀的原理,在电压作用下梁受热变形,推动接触电极和信号电极接触,进而输出信号。分别采用金属镍和氮化硅作为驱动器主体结构和隔离部分的结构材料。利用Coventorware软件对驱动器中U型折叠梁进行有限元仿真,得出折叠梁在温度为300 K、电压为3 V、热臂宽度为2μm时,冷臂宽度和驱动位移、驱动力之间的曲线关系图,进而确定冷臂的宽度为20μm。此时梁的位移为22μm,固定端受力为180 N。最后进行应力校核,梁的最大应力为120 MPa,小于镍的许用应力,具有较高的可靠性。
- 郝永平王锁成刘双杰
- 关键词：单刀双掷热膨胀接触电极应力校核
- 微电热驱动器中偏置层的分析
- 2015年
- 设计了一种电热微驱动器,根据几何关系、泰勒公式和材料力学求得偏置层结构末端的位移公式,并验证了采用镍作为偏置层材料的合理性。通过Coventorware软件中的有限元模块进行仿真分析,得出施加驱动电压为5 V,响应时间为5ms,驱动器的初始温度为300 K时,得出偏置层宽度W1与驱动器位移d的曲线关系。通过验证驱动器的最大应力为235 MPa,小于镍的许用应力,确定驱动器在W1=20μm可以进行可靠的工作。分析偏置层厚度和宽度的加工误差对驱动器末端位移的影响,可得在对偏置层进行加工时要严格控制偏置层厚度H1的加工误差。
- 邓炬锋史春景郝永平王锁成
- 关键词：应力
- 引信用MEMS微驱动器的设计与仿真分析
- MEMS驱动器是一种换能元件，能够将其他形式的能转化成机械能，具有体积小、质量轻、结构简单等优点，适合在引信中应用。本文介绍了一种以双金属膜受热膨胀原理为基础、应用在引信安全系统中的面外电热驱动器。能够实现驱动电压低、驱...
- 王锁成
- 关键词：微驱动器机电设计
- 文献传递
- MEMS微镜的系统级设计与分析被引量：1
- 2015年
- 提出一种基于空间转换原理、静电控制的MEMS光学开关。运用Coventor Ware软件中的Architect模块对MEMS光学开关进行系统级建模与仿真分析。分别对MEMS光开关施加半正弦、脉冲和阶跃三种不同的冲击信号,得到微镜转动的角位移与时间的关系曲线,分析得出微镜具有抵抗1500g冲击的能力。对微镜进行交流小信号分析,得出固有频率为28.48k Hz,与模态分析结果相比较,得出系统级和有限元两种分析方法的误差仅为0.6%,由此表明系统级仿真具有精度高、速度快的优势。
- 王锁成郝永平刘双杰
- 关键词：静电控制光学开关系统级建模模态分析
