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张建明

作品数：8 被引量：7H指数：2
供职机构：中国航空精密机械研究所更多>>
相关领域：金属学及工艺机械工程电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇机械工程
  • 2篇电气工程

主题

  • 3篇控制系统
  • 3篇超精
  • 2篇检测与控制系...
  • 1篇电机
  • 1篇在机测量
  • 1篇三坐标
  • 1篇双频激光
  • 1篇双频激光干涉
  • 1篇相关滤波
  • 1篇滤波
  • 1篇面形
  • 1篇面形精度
  • 1篇激光
  • 1篇激光干涉
  • 1篇多坐标
  • 1篇非球面
  • 1篇LVDT
  • 1篇步进
  • 1篇步进电机
  • 1篇超精密

机构

  • 8篇中国航空精密...

作者

  • 8篇张建明
  • 1篇罗松保
  • 1篇何志方
  • 1篇刘文娟

传媒

  • 5篇航空精密制造...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇航空制造工程

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 1篇1998
  • 3篇1997
  • 2篇1996
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
平面步进电机超精三坐标控制系统
1998年
简介了一种用平面步进电机作为执行元件的超精三坐标控制系统的基本结构、原理及实现方法。该系统采用了全新的步进电机控制方式、多坐标动态激光测量系统、高性能计算机控制等技术，可实现极高的坐标定位精度。系统在超大规模集成电路制造等现代微纳米技术中具有重要的实用价值。
张建明
关键词：超精三坐标
精密加工中非球面工件面形精度的在机测量被引量：4
2003年
用一个由恒微测力并经精确校准的气浮LVDT传感器和相应软硬件组成的测量系统对非球面加工工件表面进行在机测量。用测得的数据进行曲线拟合,并与刀具的实际编程轨迹相比较。经计算机处理后,将补偿信息反馈到数控系统,并将得到的工件面形精度测量结果以图形的方式显示在显示器上。
何志方张建明刘文娟
关键词：在机测量面形精度LVDT
线性步进电机超精控制方法研究被引量：2
1997年
论述了在超精坐标控制系统中，采用传统控制方法的线性步进电机控制系统所遇到的问题，介绍了适合于超精控制的新的线性步进电机控制方法及原理．
张建明
关键词：超精
数字相关滤波在精密位置检测中的应用
1997年
数字相关滤波精密检测是随着现代光电子技术、计算机技术的进步而发展起来的一门新兴技术，在现代制造业，尤其是在超大规模集成电路制造等领域中的非接触高精密测量方面具有重要的实用价值。本文通过实例。
张建明
数字相关滤波在精密位置检测与控制系统中的应用探讨
1996年
通过实例，介绍了数字相关滤波精密检测问题的提出，数字相关滤波理论，探讨了数字相关滤波在非接触精密位置检测与控制系统中的应用原理及实现方法．文末．还就相关滤波的其它应用作了简介．
张建明
关键词：相关滤波
探讨数字相关滤波在精密位置检测与控制系统中的应用被引量：1
1996年
数字相关滤波精密检测是随着现代光电子技术，计算机技术的进步而发展起来的一门新兴技术，在现代科技与制造业，尤其是在超大规模集成电路制造等领域中非接触高精密测量方面具有重要的实用价值。本文通过实例，介绍了问题的提出，数字相关滤波的理论，探讨了在非接触式精密位置检测与控制系统中的应用原理及实现方法。文末，还就相关滤波的其它有关应用作了简介。
张建明
关键词：控制系统
非球面曲面的超精密加工与测量技术的研究
全面介绍了“九五”重点预研课题—“非球面曲面的超精密加工与测量技术”的研究内容及其成果。其主要研究内容有:非球面曲面的超精密加工系统的研究;非球面曲面的超精密加工工艺的研究;非球面曲面的超精密测量技术的研究。其主要研究成...
罗松保张建明
关键词：非球面超精密
文献传递
双频激光干涉多坐标实时精密测量系统研究被引量：1
1997年
介绍了一种具有较简单结构、方便实用的经济型双频激光干涉多坐标实时精密测量系统的基本原理及构成．
张建明
关键词：双频激光干涉多坐标
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