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王德武
作品数:
3
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院高能物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
电气工程
机械工程
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合作作者
吴忠华
南京大学
蒋海音
中国科学院高能物理研究所
邵惠民
南京大学
沈临江
南京大学
吴诤
南京大学
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MO/SI
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磁控
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磁控溅射
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O
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X
机构
2篇
中国科学院
1篇
北京科技大学
作者
2篇
王德武
1篇
方正知
1篇
王佩璇
1篇
吴忠华
1篇
崔明启
1篇
蒋海音
1篇
王凤平
传媒
1篇
物理学进展
1篇
电子显微学报
年份
2篇
1997
共
3
条 记 录,以下是 1-2
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衍射异常精细结构(DAFS)谱及其应用
被引量:3
1997年
本文对近年来正在发展中的DAFS技术,从原理、实验方法、数据处理到DAFS技术的应用及其前景作了一个简要的综述性介绍。
吴忠华
王德武
蒋海音
刘建飞
关键词:
原子散射
数据处理
Mo/SiO_2 软 X 射线多层膜的结构研究
1997年
本文用磁控溅射方法制备了几种Mo/SiO2多层膜。在北京同步辐射装置(BSRF)的衍射站上测量了其低角X射线衍射(XRD)谱,并利用基于光学动力学理论的递推公式对低角X射线衍射谱进行了拟合,定量分析了膜层的周期结构和界面粗糙度以及界面粗糙度与层数、层厚的关系。同时用高分辨电子显微镜(HREM)对一样品的截面进行了观察。
王凤平
王佩璇
方正知
崔明启
王德武
关键词:
磁控溅射
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