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段铁群
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
哈尔滨电工学院
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相关领域:
机械工程
一般工业技术
电气工程
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合作作者
王香文
电子工业部
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机构
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文献类型
3篇
中文期刊文章
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2篇
机械工程
1篇
电气工程
1篇
一般工业技术
主题
1篇
电镀
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掩膜
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微结构
1篇
微系统
1篇
微系统技术
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流量计
1篇
绝缘
1篇
绝缘材料
1篇
刻蚀
1篇
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1篇
传感
1篇
传感器
机构
2篇
哈尔滨电工学...
1篇
电子工业部
作者
3篇
段铁群
1篇
王香文
传媒
3篇
哈尔滨电工学...
年份
2篇
1996
1篇
1995
共
3
条 记 录,以下是 1-3
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微系统技术中的LIGA工艺
1996年
简单介绍微系统技术中LIGA工艺的发展,基本工艺步骤、特点和应用情况.
段铁群
王香文
关键词:
电镀
微结构
在环脂上形成通道的软掩膜工艺
1995年
介绍了一种在5~20μm厚的环苯丁烯树脂(BCBS)胶片上形成通道的掩膜工艺方法,并提供了必要的实验数据。
王香文
段铁群
关键词:
掩膜
刻蚀
绝缘材料
液体流量仪表的发展现状及研究方向
被引量:3
1996年
本文介绍了几种常用的液体流量测量仪表以及传感器的工作原理、结构特点和应用情况。综述了近年来新型流量仪表的发展动态。
段铁群
王香文
关键词:
传感器
流量计
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