您的位置： 专家智库 > >

段铁群

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：哈尔滨电工学院更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电镀
  • 1篇掩膜
  • 1篇微结构
  • 1篇微系统
  • 1篇微系统技术
  • 1篇流量计
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘材料
  • 1篇刻蚀
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇哈尔滨电工学...
  • 1篇电子工业部

作者

  • 3篇段铁群
  • 1篇王香文

传媒

  • 3篇哈尔滨电工学...

年份

  • 2篇1996
  • 1篇1995
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
微系统技术中的LIGA工艺
1996年
简单介绍微系统技术中ＬＩＧＡ工艺的发展，基本工艺步骤、特点和应用情况．
段铁群王香文
关键词：电镀微结构
在环脂上形成通道的软掩膜工艺
1995年
介绍了一种在５～２０μｍ厚的环苯丁烯树脂（ＢＣＢＳ）胶片上形成通道的掩膜工艺方法，并提供了必要的实验数据。
王香文段铁群
关键词：掩膜刻蚀绝缘材料
液体流量仪表的发展现状及研究方向被引量：3
1996年
本文介绍了几种常用的液体流量测量仪表以及传感器的工作原理、结构特点和应用情况。综述了近年来新型流量仪表的发展动态。
段铁群王香文
关键词：传感器流量计
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0