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陈文彦

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国航空精密机械研究所更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇仪器

机构

  • 1篇中国航空精密...

作者

  • 1篇张绍宗
  • 1篇陈文彦

传媒

  • 1篇光学工程

年份

  • 1篇1989
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
炫耀光栅位移测量系统的精度试验
1989年
炫耀光栅位移测量系统采用尤学倍增与电子细分相結合的方法,使系统的分辨率达到0.4微米。与金属线纹尺比较测量,系统在300毫米内的极限误差为1.5微米。试验证明炫耀光栅位移测量系统具有较高的精度,如能进一步提高标尺光栅的刻划精度,并相应地提高分辨率,系统的实际精度还可以提高。
张绍宗陈文彦
关键词:仪器
共1页<1>
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