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吴鑫
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4
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供职机构:
广西大学
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相关领域:
电子电信
理学
一般工业技术
电气工程
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合作作者
刘颖
广西大学
黄浩
广西大学
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机构
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一般工业技术
1篇
理学
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2篇
晶体管
2篇
薄膜晶体
2篇
薄膜晶体管
2篇
A-I
1篇
导电性能
1篇
低功耗
1篇
动力方程
1篇
钝化
1篇
钝化工艺
1篇
氧化铝薄膜
1篇
栅绝缘层
1篇
振荡性
1篇
时标
1篇
绝缘层
1篇
溅射
1篇
溅射制备
1篇
降低功耗
1篇
功耗
1篇
高阶
1篇
靶材
机构
4篇
广西大学
作者
4篇
吴鑫
3篇
黄浩
3篇
刘颖
年份
3篇
2024
1篇
2014
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一种磁控溅射制备高性能IGO薄膜的方法
本发明涉及一种磁控溅射制备高性能IGO薄膜及其方法,所述方法具体为:将IGO靶材通过磁控溅射的方式,在衬底的温度为400℃的生长条件下,制备高性能IGO薄膜。所述方法成本低廉、生长速率快,所制得的薄膜厚度均匀,且导电性能...
刘颖
罗蝶
黄浩
王南南
王欣鹏
吴鑫
杨茂林
陈子君
黄方迪
余美琳
吴帅
王喜浩
覃薇尔
荣梓浩
一种兼容各类衬底的a-IGO薄膜晶体管制备方法
本发明属于半导体技术领域,涉及一种兼容各类衬底的a‑IGO薄膜晶体管制备方法,包括如下步骤:(1)准备硅片、玻璃、塑料三类典型衬底材料;(2)调控原子层沉积技术生长工艺、生长温度及薄膜沉积的厚度,在衬底上制备高质量超薄氧...
罗蝶
黄浩
王南南
王欣鹏
吴鑫
黄方迪
陈子君
杨茂林
覃薇尔
荣梓浩
余美琳
吴帅
王喜浩
刘颖
时标上高阶动力方程的振荡性准则
对时标理论的研究,既是数学理论自身发展的需要,也是实际问题的需要.时标理论不仅能把微分方程和差分方程理论很好地结合起来,而且所得的结果更为实用.本文主要研究时标上几类高阶动力方程的振荡性准则. 在第1章,我们简要介绍了...
吴鑫
关键词:
时标
文献传递
一种钝化实现高性能超薄a-IGO薄膜晶体管的方法
本发明属于半导体技术领域,涉及一种钝化实现高性能超薄a‑IGO薄膜晶体管的方法,包括如下步骤:(1)提供a‑IGO薄膜,送入反应腔室;(2)向反应腔室内通入三甲基铝,且以变化的压力通入氮气;(3)向反应腔室内通入氮气,吹...
罗蝶
王南南
黄浩
王欣鹏
吴鑫
陈子君
黄方迪
杨茂林
余美琳
吴帅
王喜浩
刘颖
覃薇尔
荣梓浩
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