曾臻
- 作品数：9 被引量：17H指数：3
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 一种白光干涉及激光扫描结合的形貌测量装置
- 本发明公开一种白光干涉及激光扫描结合的形貌测量装置，包括三维运动平台和置于其上的白光‑激光测量系统，测量系统包括白光光源（1）、三个分光棱镜、显微目镜（5）、显微物镜（6）、干涉物镜（7）、四象限光电传感器（8）、激光器...
- 张效栋房丰洲曾臻高慧敏武光创
- 文献传递
- 一种复杂形貌快速测量方法
- 本发明公开一种复杂形貌快速测量方法，所采用的测量系统包括白光光源1、三个分光棱镜、显微目镜5、显微物镜6、干涉物镜7、四象限光电传感器8、激光器9和图像传感器10，具有两条测量光路和激光测量光路。进行复杂形貌快速测量的方...
- 张效栋房丰洲曾臻高慧敏武光创
- 基于光学性能评价自由曲面离轴三反系统加工误差分析被引量：8
- 2017年
- 超精密加工过程存在的加工误差影响着器件的面形误差,进而影响光学性能。制造者往往从面形精度方面来评价加工精度,但是光学性能才是光学系统的最终评价指标,仅仅关注加工过程中加工误差对单个面的面形误差影响是不够的,加工误差对系统光学性能的影响需要进一步研究。基于多体系统理论和光线追迹理论建立了加工误差影响分析模型,探索了加工误差对面形误差和光学性能的影响,得出了系统主要的面形误差形式及其对系统调制传递函数(MTF)的影响关系,并根据系统对光学性能的要求得出了加工误差、面形误差和角度公差,从而找到了影响三反系统光学性能的重点加工误差,研究结果可为离轴三反系统加工误差的控制及光学质量可控制造的实现提供理论指导。
- 刘现磊张效栋徐航宇曾臻
- 关键词：制造公差光学性能面形误差调制传递函数
- 微透镜阵列超精密切削正弦过渡路径优化设计被引量：3
- 2017年
- 微透镜阵列由于具有质量轻、结构小、视场大、分辨率高等优点,被广泛应用于光学领域.微注塑成型是实现其低成本批量生产的主要方法.如何高效、高精度、低成本加工模芯一直是研究的重点与难点.本文在传统微透镜阵列加工路径基础上,提出了一种正弦过渡加工路径,并对其过渡正弦的振幅和波长进行了分析,该方法有效避免了传统加工路径的不连续与突变问题.进行了正弦过渡路径优化设计和实际对比加工实验,实验结果表明该路径优化方法能有效地消除加工表面纹理,提高表面质量和加工效率.
- 张效栋王志诚曾臻刘现磊
- 关键词：超精密加工微透镜阵列模芯
- 一种白光干涉及激光扫描结合的形貌测量装置
- 本发明公开一种白光干涉及激光扫描结合的形貌测量装置，包括三维运动平台和置于其上的白光‑激光测量系统，测量系统包括白光光源1、三个分光棱镜、显微目镜5、显微物镜6、干涉物镜7、四象限光电传感器8、激光器9和图像传感器10，...
- 张效栋房丰洲曾臻高慧敏武光创
- 一种复杂形貌快速测量方法
- 本发明公开一种复杂形貌快速测量方法，所采用的测量系统包括白光光源1、三个分光棱镜、显微目镜5、显微物镜6、干涉物镜7、四象限光电传感器8、激光器9和图像传感器10，具有两条测量光路和激光测量光路。进行复杂形貌快速测量的方...
- 张效栋房丰洲曾臻高慧敏武光创
- 文献传递
- 一种复杂面型曲面制造的补偿加工方法
- 本发明提供一种复杂面型曲面制造的补偿加工方法，该方法采用的加工机床配备有原位测量头，方法如下：对被加工工件理想模型进行加工路径设计；对被加工工件进行加工，加工后将工件卸载后进行离线面形测量，得到被加工器件的面形误差；将被...
- 张效栋房丰洲曾臻
- 文献传递
- 基于光楔阵列产生光学涡旋阵列的研究被引量：6
- 2015年
- 在研究光楔衍射法产生单涡旋的基础上,基于长条形光楔阵列,提出了利用光束阵列衍射产生涡旋阵列的方法.该方法要求光束阵列在平行于光楔边缘方向上的光束间距等于光束直径的整数倍.利用超精密机床采用一体化加工法加工了光楔阵列元件,验证了该方法的可行性.利用空间光调制器快速灵活调整光束阵列的优点,搭建了借助空间光调制器加载达曼光栅衍射产生所需光束阵列的实验光学系统.针对光束阵列与光楔阵列的匹配问题,研究了达曼光栅掩模图基本单元对光束阵列的调控,获得了可调结构的光束阵列.实验产生了拓扑荷一致的光学涡旋阵列,与仿真结果相一致,证明所提方法的有效性.
- 柴忠洋王祺昌曾臻张效栋房丰洲
- 关键词：物理光学光学涡旋达曼光栅
- 基于空间光调制器的光学面形测量关键技术的研究
- 相干干涉测量是对光学面形进行高精度测量的常用测量方式。传统干涉仪只能针对光学平面或者球面等基础光学面形进行面形测量。通过无像差测量方法,在测量光路中增加反射平面或者球面,能够将干涉测量的范围扩展到抛物面等二次光学面。但对...
- 曾臻
- 关键词：超精密加工液晶空间光调制器相位补偿
