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李淑玉
作品数:
2
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供职机构:
北京大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王舒阳
北京大学
马蔚
北京大学
文永正
北京大学
于晓梅
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非制冷红外焦...
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机构
2篇
北京大学
作者
2篇
李淑玉
1篇
于晓梅
1篇
文永正
1篇
马蔚
1篇
王舒阳
年份
1篇
2015
1篇
2014
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2
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一种基于MEMS技术的全波段红外焦平面阵列
本发明公开了一种基于MEMS技术的全波段红外焦平面阵列的设计和制备方法,特别是关于一种从衬底侧进行可见光读出的全波段红外焦平面阵列。本发明提供的全波段红外焦平面阵列由微悬臂梁像元阵列和支撑微悬臂梁像元阵列的透明衬底组成,...
于晓梅
王舒阳
马蔚
文永正
李淑玉
文献传递
非制冷红外焦平面阵列封装及其关键工艺研究
本论文开展了非制冷红外焦平面阵列(FPA)的封装及其关键工艺研究。该非制冷红外焦平面阵列为双材料微悬臂梁阵列,其红外吸收层材料吸收红外辐射并将吸收的红外辐射转化为热能,微悬臂梁就会因为两种材料热膨胀系数的不同而发生形变弯...
李淑玉
关键词:
非制冷红外焦平面阵列
封装工艺
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