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nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜的制备及其摩擦学性能的研究被引量：4: 2015年; 采用磁过滤阴极弧等离子体沉积技术,在单晶硅片上制备了不同亚层厚度和亚层弹性模量匹配的nc-Ti C/a-C纳米复合多层薄膜,采用X射线粉末衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对其微观结构进行表征,利用激光扫描仪对其内部应力进行测试,采用微摩擦磨损试验机表征薄膜的摩擦磨损性能,以考察多层结构设计对于薄膜机械性能的影响.结果表明:多层薄膜相对于单层薄膜可以有效降低膜层内应力,同时薄膜的减摩抗磨性能也得到了提高.亚层厚度为40 nm和相邻亚层弹性模量差距较小的nc-Ti C/a-C纳米复合多层薄膜的抗磨性能最佳.; 彭燚张玉娟翟玉浩杨坤鹏张晟卯张平余王超峰

多层结构设计对Si掺杂DLC多层薄膜机械性能的影响: 本论文主要通过离子束溅射的方法制备了Si掺杂的类金刚石（DLC）单层薄膜和不同亚层模量比以及不同亚层厚度比的多层薄膜，通过改变单层薄膜中 Si掺杂含量以及多层薄膜的亚层模量比和亚层厚度比来研究其对薄膜微观结构和机械性能的...; 彭燚; 关键词：类金刚石膜微观结构机械性能

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彭燚