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张俊峰
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京港震机电技术有限公司
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发文基金:
中国地震局地震预测研究所基本科研业务专项
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相关领域:
机械工程
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合作作者
薛兵
中国地震局地震预测研究所
朱小毅
中国地震局地震预测研究所
李建飞
中国地震局地震预测研究所
王晓蕾
中国地震局地震预测研究所
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作者
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王晓蕾
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张俊峰
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1篇
2013
1篇
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应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现
2012年
MEMS(Micro-Electro—MechanicalSystems)加速度计是采用微机电技术制作的产品,具有体积小、功耗低、外围电路简单等特点,广泛应用于振动检测领域;一些新型倾角仪的设计中也采用MEMS加速度计来记录静态加速度,然后进行后续计算。
李建飞
薛兵
张俊峰
朱小毅
王晓蕾
关键词:
加速度计
MEMS
微机电技术
外围电路
应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现
被引量:2
2013年
介绍一种小型恒温系统的实现方法,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而改善MEMS加速度计的相关技术指标。小型恒温系统采用独特工艺,实现简单;恒温点可以根据环境温度的变化而改变,以降低功耗。实验结果表明,应用该系统的MEMS加速度计,由温度所引起的零点漂移值明显减小。
李建飞
薛兵
张俊峰
朱小毅
王晓蕾
关键词:
MEMS加速度计
零点漂移
低功耗
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