王其美
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
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- DXS-3型扫描电镜的电子光学系统设计
- 一、概述扫描电子显微镜是一种大型精密电子光学仪器,具有分辨本领高,图像立体感强,能对各种信息进行综合分析等优点,在冶金、地质、矿物、半导体、医学、生物等领域得到了广泛的应用。DXS-3型扫描电镜分辨本领为60A,需要有优...
- 王其美沈一骑
- 文献传递
- DXS-3扫描电子显微镜
- ＜正＞ 一、DXS-3扫描电镜是我国首次自行设计研制的电脑控制的高性能扫描电镜。该产品涉及精良的电子光学系统,高稳定度的高压和透镜电源,电脑控制,多功能扫描显示线路,高真空技术及自动控制系统,微米级精密机械,高灵敏度信号...
- 王其美
- 文献传递
- DXS-3型扫描电镜的电子光学系统设计被引量：1
- 1990年
- 一、概述扫描电子显微镜是一种大型精密电子光学仪器,具有分辨本领高,图像立体感强,能对各种信息进行综合分析等优点,在冶金、地质、矿物、半导体、医学、生物等领域得到了广泛的应用。 DXS-3型扫描电镜分辨本领为60A,需要有优良电子光学系统。我们考虑电子光学系统总缩小倍数为5000倍左右,并要求探针电流大于10-12A。我们采用锥形栅极的常规钨阴极电子枪和四极透镜系统。聚光镜系统由一个双间隙、单线包聚光镜和一个单间隙、单线包聚光镜组成。物镜采用常规针孔物镜。二、磁透镜的设计磁透镜是电子光学系统的关键部件。
- 王其美沈一骑
- 关键词：扫描电镜电子光学系统
- DXS-3扫描电子显微镜被引量：2
- 1990年
- 一、DXS-3扫描电镜是我国首次自行设计研制的电脑控制的高性能扫描电镜。该产品涉及精良的电子光学系统,高稳定度的高压和透镜电源,电脑控制,多功能扫描显示线路,高真空技术及自动控制系统,微米级精密机械,高灵敏度信号探测系统,低噪声宽频带信号放大和处理系统,字符显示,照相记录等技术。二、在研制DXS-3扫描电镜时首先考虑用户普遍关心和迫切需要解决的课题,即仪器技术先进性,性能稳定性和使用方便性。我们采用了计算机辅助设计的方法设计电子光学系统。采用了模块式电脑控制结构控制电气系统。在总体设计中做了适当安排,可派生出不同用户需要的系列产品。
- 王其美
- 关键词：扫描电镜微机控制
- 电脑控制扫描电子显微镜
- 1992年
- 本文介绍电脑控制、多功能——DXS—3高性能扫描电子显微镜。它是利用二次电子等信息进行形貌分析,利用特征X射线进行微区化学成份分析。是机械工程、材料科学重要测试手段。
- 王其美
- 关键词：电子显微镜电子光学计算机
