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王茂林
作品数:
30
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
电气工程
经济管理
机械工程
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合作作者
苏乾益
北京七星华创电子股份有限公司
牟昌华
北京七星华创电子股份有限公司
赵迪
北京七星华创电子股份有限公司
祝恒阳
北京七星华创电子股份有限公司
李凯
北京七星华创电子股份有限公司
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质量流量控制器(二)
1.外观设计产品的名称:质量流量控制器(二)。;2.外观设计产品的用途:质量流量控制器属于计量与工业控制器具,在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中用于对气体的质量...
苏乾益
王茂林
文献传递
不锈钢表面处理方法
本发明涉及一种不锈钢表面处理方法,该方法包括步骤:对待处理不锈钢零部件表面进行光饰、脱脂、去污以及清洗;对经光饰、脱脂、去污以及清洗处理后的不锈钢零部件进行电化学抛光;对电化学抛光后的不锈钢零部件进行钝化;对钝化后的不锈...
方刚
祝恒阳
王茂林
文献传递
一种新型的流量控制系统
本发明公开了一种新型的流量控制系统,包括阀控制电路、电源电路,电源电路变压器的原线圈的两端分别连接有电源电路场效应管,副线圈通过整流电路连接至电源电路的电压输出端,电源电路场效应管的栅极连接有开关调节器;电源电路的电压输...
牟昌华
王茂林
文献传递
质量流量控制器(一)
1.外观设计产品的名称:质量流量控制器(一)。;2.外观设计产品的用途:质量流量控制器属于计量与工业控制器具,在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中用于对气体的质量...
苏乾益
王茂林
文献传递
质量流量传感器的固定密封装置
本实用新型公开了一种质量流量传感器的固定密封装置,该固定密封装置包括有压块、焊块、密封圈和传感器通气管,所述焊块设有通孔,所述传感器通气管穿过通孔,且与焊块密封焊接;所述压块设有传感器通气管可穿入的槽孔;所述密封圈、焊块...
李凯
欧瑞萍
王茂林
文献传递
质量流量传感器及控制系统及其实现质量流量控制的方法
本发明公开了一种质量流量传感器及控制系统及其实现质量流量控制的方法,质量流量传感器包括惠斯特电桥,在惠斯特电桥的上游绕组和下游绕组处分别设有温度传感器。质量流量控制系统根据上游绕组和下游绕组的温度信息,计算由于上游绕组和...
牟昌华
王茂林
赵迪
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电磁调节阀
本实用新型公开了一种电磁调节阀,包括主体,主体中设有前段通道和后段通道,主体的上部设有流量调节装置,流量调节装置包括阀体组件,阀体组件包括阀体,阀体为空心柱状,其内部设有阀口和阀芯,阀口中设有上下相通的进口和出口,进口和...
苏乾益
王茂林
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半导体及IC设备不锈钢表面技术研究
被引量:1
2010年
介绍了半导体及IC产业设备之关键不锈钢零部件的表面处理工艺方法,重点叙述了国外200 mm(8英寸)以上半导体及IC工艺设备为了避免特殊环境的腐蚀和颗粒的产生而采用的最为先进的表面处理EP工艺技术,诠释了半导体及IC产业设备零部件超高纯(UHP)技术指标要素,另外对我国目前半导体及IC行业的表面处理现状进行了研究和分析,并提出了努力方向。
方刚
王茂林
祝恒阳
关键词:
EP
一种新型的流量控制系统
本发明公开了一种新型的流量控制系统,包括阀控制电路、电源电路,电源电路变压器的原线圈的两端分别连接有电源电路场效应管,副线圈通过整流电路连接至电源电路的电压输出端,电源电路场效应管的栅极连接有开关调节器;电源电路的电压输...
牟昌华
王茂林
质量流量传感器
本发明涉及一种质量流量传感器,该传感器包括传感器底座(1),其上设置有用于安装其他部件的通孔;前罩(2)、后罩(3),均固定在所述传感器底座(1)上,内部均设置有放置传感管(4)的槽;传感管(4),其通过支架(6)支撑固...
苏乾益
王茂林
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