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文献类型

  • 12篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 7篇多晶
  • 7篇多晶硅
  • 6篇反应器
  • 5篇
  • 4篇还原炉
  • 3篇单程收率
  • 3篇电极
  • 3篇液态硅
  • 3篇正三角形
  • 3篇熔融
  • 3篇收率
  • 3篇气口
  • 3篇铸锭
  • 3篇流化床反应器
  • 3篇进气
  • 3篇进气口
  • 3篇环隙
  • 2篇点阵
  • 2篇氢等离子体
  • 2篇氪气

机构

  • 12篇江苏中能硅业...

作者

  • 12篇王小军
  • 7篇陈文龙
  • 6篇钟真武
  • 5篇蒋立民
  • 5篇陈其国
  • 4篇胡开达
  • 3篇吴锋
  • 3篇江宏富
  • 2篇王燕
  • 1篇王建民
  • 1篇蒋文武
  • 1篇马军
  • 1篇陈立国

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2012
  • 3篇2010
12 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种生产硅的装置
本实用新型公开了一种生产硅的装置,包括:感应外筒和尾气内筒;包围在感应外筒外部的隔热层;环绕感应外筒的感应加热线圈,所述感应加热线圈能够将感应外筒的至少一部分加热到等于或高于硅熔点的温度;进气口,以及位于感应外筒和尾气内...
蒋立民胡开达王小军
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氢等离子体辅助制造多晶硅的系统和方法
本发明公开了一种利用氢等离子体生产多晶硅的方法,该方法采用二氯甲硅烷、三氯甲硅烷和四氯化硅中的一种或几种为原料气体,并采用氢气作为还原气体,或另外添加氦气、氖气、氩气及氪气中的一种或几种作为辅助气体,与原料气体混合后同时...
陈涵斌钟真武陈其国陈文龙王小军王燕
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用于生产多晶硅的反应器
本发明公开了一种用于生产多晶硅的反应器,其包括含有冷却设施的炉筒、底盘、以及位于所述底盘上的电极、原料进气口和排气口,其特征在于除了最外部靠近炉筒的电极外,每个电极在150mm~300mm处具有四个或五个其他的相邻电极和...
江宏富钟真武陈文龙王小军吴锋陈其国
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一种生产硅的装置和方法
本发明公开了一种生产硅的装置和方法,该装置包括:感应外筒和尾气内筒;包围在感应外筒外部的隔热层;环绕感应外筒的感应加热线圈,所述感应加热线圈能够将感应外筒的至少一部分加热到等于或高于硅熔点的温度;进气口,以及位于感应外筒...
蒋立民胡开达王小军
等离子体辅助流化床工艺生产多晶硅的装置
本实用新型公开了一种等离子体辅助流化床工艺生产多晶硅的装置,它包括流化床反应器、气体进料装置、等离子体发生装置、气体混合器、产品分选装置、进料预热器和籽晶加料装置;流化床反应器底部依次连接气体进料装置和等离子体发生装置;...
陈涵斌钟真武陈文龙王小军
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氢等离子体辅助制造多晶硅的系统和方法
本发明公开了一种利用氢等离子体生产多晶硅的系统和方法,该方法采用二氯甲硅烷、三氯甲硅烷和四氯化硅中的一种或几种为原料气体,并采用氢气作为还原气体,或另外添加氦气、氖气、氩气及氪气中的一种或几种作为辅助气体,与原料气体混合...
陈涵斌钟真武陈其国陈文龙王小军王燕
制备高纯多晶硅的流化床反应器
本实用新型公开了一种制备高纯多晶硅的新型流化床反应器,属于多晶硅制备领域。该流化床反应器包括上部流化反应室和下部流化冷却室,流化反应室可以设置成一个或多个,流化床外部安装有加热器;下部流化冷却室内安装有冷却组件。每个流化...
胡开达王建民蒋立民蒋文武陈立国王小军
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流化床反应器
本实用新型公开了一种流化床反应器,包括反应管、分布器和加热装置,反应管和位于反应管底部的分布器构成的反应室密闭空间为反应区,分布器设有气体喷口和产品出口,反应管上部设有尾气出口和籽晶进料口,反应管由反应内管和反应外管构成...
王小军马军蒋立民
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用于生产多晶硅的反应器
本发明公开了一种用于生产多晶硅的反应器,其包括含有冷却设施的炉筒、底盘、以及位于所述底盘上的电极、原料进气口和排气口,其特征在于除了最外部靠近炉筒的电极外,每个电极在150mm~300mm处具有四个或五个其他的相邻电极和...
江宏富钟真武陈文龙王小军吴锋陈其国
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用于生产多晶硅的反应器
本实用新型公开了一种用于生产多晶硅的反应器,其包括含有冷却设施的炉筒、底盘、以及位于所述底盘上的电极、原料进气口和排气口,其特征在于除了最外部靠近炉筒的电极外,每个电极在150mm~300mm处具有四个或五个其他的相邻电...
江宏富钟真武陈文龙王小军吴锋陈其国
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共2页<12>
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