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赵书霞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：安特卫普大学更多>>
发文基金：中央级公益性科研院所基本科研业务费专项国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇回滞
  • 1篇放电

机构

  • 1篇大连理工大学
  • 1篇安特卫普大学

作者

  • 1篇赵书霞

传媒

  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频感性耦合等离子体放电模式跳变及回滞的实验研究
<正>射频感性耦合等离子体源(ICP)具有低气压、高密度、均匀性好、装置简单以及性价比高等特点,在半导体制造和材料加工领域中得到广泛的应用。由于其自身的放电激发机理,ICP源存在两种放电模式即:感性模式(H)和容性模式(...
高飞赵书霞王友年
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