杜江
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- ICP光源中射频功率测量装置的设计被引量：1
- 2010年
- 阐述ICP光源中射频功率测量的意义,提出了测量范围为100~1 500 W,频率为27.12 MHz的功率测量装置的设计方案。详细分析了射频功率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、幅度相位分析电路和移相电路,并给出了判断ICP光源负载状态和性质的方法。在实验中,利用BIRD43型功率计和BIRD4304A型功率计对射频功率测量装置进行了参数校准。
- 王超金星石宝松杜江
- 关键词：功率测量射频
- ICP光源中频率测量装置的设计
- 2010年
- 针对产生并维持电感耦合等离子体（ICP）的要求，简要介绍了频率稳定性对于ICP光源的意义，提出了测量范围为1．8～52MHz的频率测量装置的设计方案；文章详细分析了频率测量装置中的电路设计，包括采样互感器、功率合成电路、可变增益放大器和控制单元，并介绍了频率测量的软件设计方案；利用数字频率特性测试仪SA1050对频率测量装置进行了测试，在氩气等离子体的激发实验中，对ICP光源的频率稳定性进行了测量，通过对实验数据的分析统计，得到ICP光源的频率稳定度≤±0．1‰，可以满足ICP光源的使用要求。
- 王超金星石宝松杜江
- 关键词：频率测量射频
- ICP光源中负载匹配箱的设计被引量：1
- 2010年
- 阐述电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光源中负载匹配箱的设计方案,对等离子体产生过程中的负载阻抗变化进行深入分析。利用ADS软件对ICP光源负载阻抗的电路模型进行阻抗匹配仿真,根据仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制策略和参数范围。在多次等离子体的点火实验中,成功将氩气电离,顺利产生并稳定维持了环形球状等离子体火焰。
- 王超金星石宝松杜江
- 关键词：阻抗匹配等离子体
