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顾志清
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5
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供职机构:
吉林大学
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相关领域:
一般工业技术
金属学及工艺
化学工程
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合作作者
郑伟涛
吉林大学
胡超权
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吉林大学
作者
5篇
顾志清
4篇
胡超权
4篇
郑伟涛
年份
1篇
2018
2篇
2017
1篇
2016
1篇
2015
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一种具有立方磷化钍单相结构的氮化铪膜及其制备方法
本发明涉及一种具有立方磷化钍单相结构的氮化铪膜及其制备方法,其特征在于膜的氮含量的范围为57.1%‑61.5%,膜具有的压应力为2.0‑4.0GPa,其通过制备过程中氩离子轰击实现。采用射频反应溅射法,以高纯Hf为靶源,...
胡超权
郑伟涛
顾志清
文献传递
一种提高岩盐结构氮化铪膜性能的方法
本发明涉及一种提高岩盐结构氮化铪膜性能的方法,引入适量钽的岩盐结构氮化铪膜的化学式为Hf<Sub>1‑y</Sub>Ta<Sub>y</Sub>N,按各成分的原子数百分含量计,氮含量为50%,铪与钽的总含量为50%,钽占...
胡超权
郑伟涛
顾志清
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一种具有立方磷化钍单相结构的氮化铪膜及其制备方法
本发明涉及一种具有立方磷化钍单相结构的氮化铪膜及其制备方法,其特征在于膜的氮含量的范围为57.1%-61.5%,膜具有的压应力为2.0-4.0GPa,其通过制备过程中氩离子轰击实现。采用射频反应溅射法,以高纯Hf为靶源,...
胡超权
郑伟涛
顾志清
一种提高岩盐结构氮化铪膜性能的方法
本发明涉及一种提高岩盐结构氮化铪膜性能的方法,引入适量钽的岩盐结构氮化铪膜的化学式为Hf<Sub>1‑y</Sub>Ta<Sub>y</Sub>N,按各成分的原子数百分含量计,氮含量为50%,铪与钽的总含量为50%,钽占...
胡超权
郑伟涛
顾志清
文献传递
氮化铪和氮化铪钽薄膜的结构辨认与光电性质研究
过渡金属氮化物薄膜(TMN_x,TM=Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W)因为具有优异的光学、电学和力学性质,而被广泛应用于航空航天、微电子器件、汽车工业、地质钻探、切割和加工工具等领域。在这些应用中,光学...
顾志清
关键词:
氮化物
光学
电学
文献传递
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