陆妍
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- 掺Nb浓度对溶胶凝胶法制备TiO_2薄膜透明导电性的影响（英文）
- 2016年
- 采用溶胶凝胶(sol-gel)法制备出不同Nb掺杂浓度的Nb:TiO_2薄膜,再经过后续H2退火提高结晶性能。用X射线衍射(XRD),X射线光电子谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),霍尔仪和紫外可见分光光度计检测分析样品的形貌和性能,其中包括结晶性能、元素价态、电学性能和透过率。结果显示,掺Nb的TiO_2薄膜的导电率随Nb浓度的增加而降低,当掺Nb浓度为8%时,样品具有最优异的性能,其方块电阻可以达到约4.2×104?/□,透过率高达70%左右。
- 陆妍丛炳俊王慷慨刘涌韩高荣韩高荣
- 关键词：溶胶凝胶导电薄膜透过率
- APCVD法制备Nb∶TiO_2薄膜及其光电性能被引量：3
- 2015年
- 透明导电氧化物（TCO）薄膜要求低电阻率和可见光区高透过率.目前最常用的是ITO薄膜存在着有毒、In成本高等难以克服的缺点.NTO薄膜是近年来新发现的一种具备广阔前景的TCO薄膜,但对它的认识还不充分.本文采用APCVD法在玻璃基板上成功制备出了颗粒均匀细小致密的NTO薄膜,探索出最佳反应温度为500℃～550℃,通过高真空退火的方式改善了薄膜晶体质量,光学透过率获得大幅提升,与经过掺杂但未经过H2退火的Nb∶TiO2薄膜和经过H2退火但未掺杂的TiO2薄膜相比较,经过掺杂和H2退火的Nb∶ TiO2薄膜其电学性能得到明显改善.
- 杨磊刘涌王慷慨丛炳俊程波陆妍林俊君宋晨路
- 关键词：透明导电氧化物薄膜常压化学气相沉积晶体质量光电性能
