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文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇旋涂
  • 1篇透光率
  • 1篇透明电极
  • 1篇纳米
  • 1篇金属
  • 1篇金属纳米
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇硅衬底
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇国家纳米科学...

作者

  • 1篇陈佩佩
  • 1篇董凤良
  • 1篇褚卫国
  • 1篇闫兰琴
  • 1篇李志刚
  • 1篇李志琴

年份

  • 1篇2015
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
一种基于金属纳米网格的透明电极及其制备方法
本发明涉及一种基于金属纳米网格的透明电极的制备方法,所述方法包括如下步骤:(1)在硅衬底上旋涂光刻胶并烘烤;(2)曝光显影,在硅衬底上将光刻胶刻蚀出纳米网格图形;(3)在纳米网格图形的光刻胶上沉积金属层;(4)剥离除去光...
董凤良陈佩佩闫兰琴李志琴李志刚褚卫国
文献传递
共1页<1>
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