何亚雄
- 作品数：13 被引量：9H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- XY工作台六自由度误差在线测量和补偿
- 2023年
- 为提高XY工作台对应功能点的空间位置精度,提出了一种六自由度(6-DOF)误差在线测量方法,并建立了相应的误差补偿模型。采用激光干涉原理测量工作台X,Y轴方向的定位误差和Z轴方向的直线度误差,采用激光自准直原理测量工作台绕X,Y,Z轴转动的角度误差,从而实现6-DOF误差的在线测量。分析了6-DOF误差造成工作台对应功能点的空间位置误差,建立了基于阿贝原则和布莱恩原则的误差补偿模型。根据提出的测量方法,研制了一套高精度紧凑型的在位、在线6-DOF测量系统,将其应用于一台微纳米三坐标测量机的工作台上;以SIOS激光干涉仪为参考,对测量系统和误差补偿模型的有效性进行了实验验证,并评定了系统的不确定度。结果表明:经过6-DOF误差测量和补偿后,参考功能点在X,Y,Z向的最大位置误差由1.7μm,3.4μm,3μm分别减小至65 nm,81 nm,109 nm,其扩展不确定度分别为90 nm,98 nm,158 nm(k=2)。该方法和系统可被用于提高XY工作台的精度。
- 林荣炜程真英何亚雄李洁李瑞君
- 关键词：XY工作台多自由度
- 光学传感式三维高精度接触扫描测量探头
- 本发明公开了一种光学传感式三维高精度接触扫描测量探头，其特征是测头单元是在圆环座的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片的各悬臂端固定连接对应位置上的“V”型悬臂簧片的顶端，“V”型悬臂簧片的两个底端固定连接在圆环座上，形成十字...
- 李瑞君何亚雄唐帅涛范光照程真英
- 文献传递
- 一种直线度和滚转角误差同时测量系统
- 本发明公开了一种直线度和滚转角误差同时测量系统，由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，在固定单元中采用平行双光束法实现测量，利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度有效提高测量精度；...
- 李瑞君林荣炜何亚雄李洁程真英
- 一种三维微纳米接触触发式探头
- 本发明公开了一种三维微纳米接触触发式探头，其特征是在一固定圆环的中央设置十字悬浮片，在十字悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片一侧的中...
- 李瑞君向萌范光照冯建何亚雄
- 光学传感式三维高精度接触扫描测量探头
- 本发明公开了一种光学传感式三维高精度接触扫描测量探头，其特征是测头单元是在圆环座的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片的各悬臂端固定连接对应位置上的“V”型悬臂簧片的顶端，“V”型悬臂簧片的两个底端固定连接在圆环座上，形成十字...
- 李瑞君何亚雄唐帅涛范光照程真英
- 文献传递
- 一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法
- 本发明公布了一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法，其特征在于：采用化学蚀刻的方法制作高灵敏弹性簧片，包括设计图案、菲林片打印、铍铜片表面处理、贴覆感光膜、加固感光膜、曝光、显影、腐蚀和脱膜九个步骤。本发明的...
- 李瑞君王鹏宇李丹东何亚雄范光照
- 文献传递
- 微纳米三坐标测量机的高精度恒温箱研制被引量：4
- 2015年
- 针对恒温室控制精度低和分离式恒温箱因振动而无法满足微纳米三坐标测量机需要的问题，研制了一套自然对流式高精度恒温箱。用定制尺寸的中空亚克力板和轻便型超低导热系数真空绝热板制成绝热箱体。以仪器测量点温度作为温度控制反馈值，均匀位于恒温箱顶部的9个半导体制冷片对其周围空气进行制冷，箱内冷空气均匀向下流动，与向上流动的热空气进行热交换。采用Lab VIEW与MATLAB混合编写高精度温控程序。实验结果表明：设定值为20℃时的稳态误差为0．0032℃，稳态时温度波动小于0．03℃，优于一级恒温室。新型恒温箱具有成本低、能耗小和无振动干扰等优点。
- 冯建李瑞君何亚雄范光照
- 关键词：计量学恒温箱真空绝热板自然对流
- 一种三维微纳米接触触发式探头
- 本发明公开了一种三维微纳米接触触发式探头，其特征是在一固定圆环的中央设置十字悬浮片，在十字悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片一侧的中...
- 李瑞君向萌范光照冯建何亚雄
- 文献传递
- 一种二维共平面工作台六自由度实时测量系统
- 本发明公开了一种二维共平面工作台六自由度实时测量系统，针对二维工作台设置测量单元；二维工作台中二维移动台以面面接触安装在固定基座上，在固定基座上以平面间的相互滑动实现XOY面的二维运动，形成二维共平面工作台；测量单元包括...
- 李瑞君何亚雄林荣炜李洁程真英
- 一种激光六自由度运动误差同步测量系统
- 本发明公开了一种激光六自由度运动误差同步测量系统，是由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，固定单元安装在固定平面上，移动测量单元安装在线性位移平台上，以激光器为光源，以四象限光电探测器和二维位置探测器为检测器件，实...
- 李瑞君林荣炜何亚雄李洁程真英
