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谢耀

作品数：96 被引量：18H指数：3
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金更多>>
相关领域：机械工程文化科学理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 84篇专利
  • 10篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 9篇机械工程
  • 7篇文化科学
  • 6篇自动化与计算...
  • 6篇理学
  • 3篇电子电信
  • 1篇医药卫生

主题

  • 30篇光学
  • 23篇光学元件
  • 20篇面形
  • 16篇光刻
  • 11篇极紫外
  • 10篇紫外光刻
  • 8篇极紫外光刻
  • 7篇多层膜
  • 7篇掩模
  • 6篇次镜
  • 5篇装调
  • 5篇微流控
  • 5篇微缩
  • 5篇膜系
  • 5篇光刻系统
  • 5篇光谱
  • 5篇复现性
  • 4篇电路
  • 4篇调整装置
  • 4篇衍射

机构

  • 83篇中国科学院长...
  • 13篇上海交通大学
  • 3篇长春理工大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 96篇谢耀
  • 70篇王丽萍
  • 57篇周烽
  • 49篇郭本银
  • 47篇金春水
  • 46篇王辉
  • 25篇王君
  • 12篇陈迪
  • 12篇崔大祥
  • 10篇于杰
  • 9篇刘钰
  • 8篇苗亮
  • 7篇林彬彬
  • 7篇匡尚奇
  • 5篇袁涛
  • 4篇张海涛
  • 4篇林树靖
  • 3篇郅晓
  • 3篇王辉
  • 2篇彭忠琦

传媒

  • 3篇光学精密工程
  • 2篇光学学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇中国激光
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇长春理工大学...
  • 1篇中国光学

年份

  • 1篇2021
  • 3篇2020
  • 4篇2019
  • 10篇2018
  • 25篇2017
  • 32篇2016
  • 12篇2015
  • 6篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 96 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于真空环境下的光学元件水冷装置
一种用于真空环境下的光学元件水冷装置，属于真空环境下光学元件的热变形控制技术领域，涉及一种用于真空环境下的光学元件水冷装置。本发明能够解决真空环境下光学元件的散热问题，同时能够使光学元件更快的达到热平衡。本发明包括背部压...
周烽王辉郭本银谢耀王丽萍金春水
文献传递
一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法
一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法属于衰减型掩模优化方法领域，该方法解决了现有技术存在的针对考虑系统所采用的照明方式下的衰减型相移掩模结构没有具体优化方法的技术问题。本发明的优化方法基于遗传算法，用掩模的空间像对...
王丽萍金春水王君谢耀
一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置
一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术存在的装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大，不能满足超高精度面形要求的问题。本发明包括凸台、n组主柔性支撑结构单...
王辉周烽郭本银谢耀王丽萍
五自由度调整装置
本发明五自由度调整装置，属于光学检测技术领域，解决了现有的多自由度调整装置会造成误差积累、且重量增加、占据空间大的技术问题；本发明包括X向运动平台、Y向运动平台、基座平台、多个球头螺杆、多个导向块组件和多组高度调整组件；...
郭本银王辉周烽王丽萍谢耀金春水
文献传递
微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法
微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法，涉及光学系统检测领域，解决现有微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位的准确率低且存在工作量大，操作过程复杂等问题，采用三坐机上对主镜和次镜的反射面轮廓进行测量，获得主镜和次...
谢耀周烽王丽萍王辉郭本银张文龙金春水
一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置
一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置属于高精度光学元件精密支撑技术领域，目的在于解决现有技术装配过程中的干扰因素对面形影响严重，摩擦系数大的问题。本发明包括支撑盘、凸台、凸台压板、凸台紧固螺母、柔性支撑主体结构、蝶形...
王辉周烽郭本银谢耀王丽萍
文献传递
一种物像面定位系统以及定位方法
本发明公开了一种物像面定位系统以及物像面定位系统的定位方法。所述物像面定位系统包括：物镜系统，测量塔，定位板，检焦系统，调整机构，辅助折光镜，测量设备；所述物镜系统与所述测量塔装配在一起；所述测量塔上设置有三个位移传感器...
周烽王辉郭本银谢耀王丽萍
文献传递
仿生学微流控混合器
一种仿生学微流控混合器，包括第一容腔和第二容腔，若干第一容腔和若干第二容腔交替连通。本发明的微流控混合器，结构简单、加工方便、混合效率高且混合流程短，适合于微流控芯片用于化学或生物医学的微量液体高效混合。
崔大祥郅晓邓敏陈迪谢耀
文献传递
用于光学元件支撑的调整机构
用于光学元件支撑的调整机构，涉及光学元件的精密调整技术领域，具体涉及用于光学元件支撑的调整机构；本机构为了解决现有光学元件偏心调整的方式行程范围有限以及更好的解决热应力消除的技术问题；光学元件的调整量作为运动控制的输入，...
周烽王辉郭本银谢耀王丽萍
文献传递
高复现性光学元件面形检测支撑装置
高复现性光学元件面形检测支撑装置，属于光学元件干涉检测技术领域。解决了现有技术中检测支撑装置和光学元件间存在接触副摩擦力，导致光学元件检测状态和最终使用状态不同的技术问题。本发明的支撑装置包括支撑盘和设置在支撑盘上的相同...
王辉周烽郭本银谢耀王丽萍金春水
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