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刘鑫

作品数：27 被引量：0H指数：0
供职机构：桂林电子科技大学更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 21篇激光
  • 11篇激光加工
  • 11篇激光聚焦
  • 7篇刻蚀
  • 6篇液膜
  • 6篇激光加工系统
  • 4篇水样
  • 4篇激光刻蚀
  • 4篇光刻
  • 4篇玻璃板
  • 3篇悬挂架
  • 3篇振动
  • 3篇烧蚀
  • 3篇深刻蚀
  • 3篇水浸
  • 3篇水下激光
  • 3篇水珠
  • 3篇推杆
  • 3篇喷嘴
  • 3篇切槽

机构

  • 27篇桂林电子科技...

作者

  • 27篇刘鑫
  • 22篇龙芋宏
  • 19篇鲍家定
  • 17篇刘清原
  • 14篇唐文斌
  • 14篇周嘉
  • 10篇毛建东
  • 3篇梁英
  • 3篇杨晓清
  • 3篇李卓然
  • 2篇刘清源

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 10篇2017
  • 7篇2016
  • 8篇2015
共 27 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种可拆卸的铆钉枪杆
本发明公开一种可拆卸的铆钉枪杆，包括枪杆本体，所述枪杆本体包括枪杆首节、若干枪杆中节、枪杆末节，两相邻节连接端的左侧或右侧设有可相互配合的连接块，配合连接的两块连接块对应开设有销孔，对应销孔里安装有直径相同、长度不同、且...
刘鑫龙芋宏鲍家定冯唐高童友群毛建东刘清原
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一种液膜保护的激光加工系统
本实用新型为一种液膜保护的激光加工系统，本系统固定工件的工作台安装于容器内，激光聚焦于工件表面。配有主喷嘴和辅助喷嘴，二者相比主喷嘴的中心线与水平面的交角较小，与工件表面距离较近，主喷嘴射流压力5～50Mpa，激光聚焦点...
龙芋宏冯唐高杨晓清童友群刘鑫
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一种激光刻蚀的上下振动辅助装置
本实用新型为一种激光刻蚀的上下振动辅助装置，本装置在激光刻蚀的工作台上固定支撑箱体，固定于推杆顶端的托板夹具固定工件。与凸轮电机连接的凸轮轴与推杆垂直，套在推杆外的弹簧上端与支撑箱体固连，下端固连推杆底端，使推杆底端抵于...
周嘉龙芋宏鲍家定唐文斌刘清源毛建东刘鑫
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一种以滤纸为载体的测定水样中铵氮的固相荧光分析方法
本发明公开了一种以滤纸为载体的测定水样中铵氮的固相荧光分析方法。本发明所述方法基于OPA-NH<Sub>3</Sub>-Na<Sub>2</Sub>SO<Sub>3</Sub>的荧光反应，以滤纸为固相载体，建立了操作简单...
刘鑫
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一种氨氮荧光检测装置及检测方法
本发明公开了一种氨氮荧光检测装置及检测方法，所述装置包括氨气生成瓶、反应膜架和检测瓶，所述氨气生成瓶为广口瓶；所述反应膜架包括中部为通孔的放置台和悬挂架，所述放置台和悬挂架连为一体；所述检测瓶配装有紫外光发射器，检测瓶的...
王文鸿梁英刘鑫谢凌璇李卓然
一种水导激光加工系统的喷嘴防溅装置
本实用新型为一种水导激光加工系统的喷嘴防溅装置，工作缸顶部为激光聚光透镜，底部装喷嘴，其中部密封隔离石英窗下方多支入水管注水，经喷嘴孔形成引导激光束的水束。工作缸下方固连中空的中间壳体，定子固定于中间壳体下部，转子可转动...
刘清原龙芋宏唐文斌鲍家定刘鑫毛建东周嘉
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一种自聚焦激光加工装置
本实用新型为一种自聚焦激光加工装置，夹持机构在透镜和工作台之间固定一个盛放非线性介质的容器。激光束经透镜聚焦于非线性介质的表面，透镜聚焦后的光束进入非线性介质其中传递产生自聚焦，经透镜和非线性介质的两次聚焦，离开容器的激...
龙芋宏唐文斌鲍家定周嘉刘清原刘鑫毛建冬
一种自聚焦激光加工装置
本发明为一种自聚焦激光加工装置，夹持机构在透镜和工作台之间固定一个盛放非线性介质的容器。激光束经透镜聚焦于非线性介质的表面，透镜聚焦后的光束进入非线性介质其中传递产生自聚焦，经透镜和非线性介质的两次聚焦，离开容器的激光束...
龙芋宏鲍家定唐文斌周嘉刘清原刘鑫毛建冬
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一种双激光加工水浸工件的方法和系统
本发明为一种双激光加工水浸工件的方法和系统，本法用波长1064nm的A激光聚焦于水中工件表面，使之受热局部软化。再用波长为10640nm的B激光聚焦于工件上方的水中，A和B激光的聚焦点相距数百微米。B激光击穿水产生冲击波...
刘清原龙芋宏周嘉鲍家定毛建东刘鑫唐文斌
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水辅助激光刻划硅片的优化工艺研究
集成电路制造的关键一步就是将晶圆划切成单独的芯片，通常是采用金刚石砂轮进行切割，但这种方法存在刀具磨损、切缝崩边和材料利用率低等缺点。而且，随着3D封装工艺的成熟及晶圆厚度的降低和直径的增加，使得晶圆对机械外力变得更加的...
刘鑫
关键词：硅片
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