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刘佩尧

作品数:2 被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学技术大学物理学院物理系更多>>
发文基金:安徽省人才开发基金更多>>
相关领域:一般工业技术理学电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇退火
  • 2篇膜厚
  • 2篇SIO2
  • 2篇SIO2薄膜
  • 2篇SOL-GE...
  • 2篇SOL-GE...

机构

  • 2篇中国科学技术...

作者

  • 2篇郭嘉
  • 2篇王燎原
  • 2篇刘洪图
  • 2篇张慰萍
  • 2篇龚明
  • 2篇郭海
  • 2篇刘佩尧
  • 2篇陈滢滢

传媒

  • 1篇功能材料
  • 1篇第五届中国功...

年份

  • 2篇2004
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
退火对sol-gel法生长的SiO2薄膜特性的影响被引量:1
2004年
用正硅酸乙酯(ETOS),乙醇(EtOH),水以及盐酸以一定的比例混合配制溶胶(其中盐酸为催化剂).以普通浮法玻璃为衬底,用浸渍提拉法制备了厚度为100nm左右的SiO2薄膜.对其进行等温和等时退火,用台阶仪测定其厚度变化,给出经验拟合公式.研究了退火对透过率、折射率以及气孔率的影响,并做出比较详细的理论解释.
郭嘉龚明许小亮张慰萍郭海王燎原陈滢滢刘佩尧刘洪图
关键词:退火SOL-GELSIO2薄膜膜厚
退火对sol-gel法生长的SiO2薄膜特性的影响
用正硅酸乙酯(ETOS),乙醇(EtOH),水以及盐酸以一定的比例混合配制溶胶(其中盐酸为催化剂)。以普通浮法玻璃为衬底,用漫渍提拉法制备了厚度为100nm左右的SiO2薄膜。对其进行等温和等时退火,用台阶仪测定其厚度变...
郭嘉龚明许小亮张慰萍郭海王燎原陈滢滢刘佩尧刘洪图
关键词:退火SOL-GELSIO2薄膜膜厚
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共1页<1>
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