赵俊武
- 作品数：22 被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 单片集成的体声波双工器及其制造方法
- 本发明公开了一种单片集成的体声波双工器及其制造方法，由发射带通滤波器、接收带通滤波器和移相器构成，其中，发射带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，接收带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，移相器由一个电感器和...
- 高杨蔡洵赵坤丽黄振华尹汐漾赵俊武韩宾
- 文献传递
- 基于六端口反射计的体声波传感器读出电路被引量：4
- 2015年
- 由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高的特点,导致其读出电路部分复杂,不易集成,致使体声波传感器的实用性不高。为推进体声波传感器的实用化,该文提出一种基于六端口反射计的体声波传感器读出电路代替使用矢量网络分析仪的原创性设想。采用Agilent公司的射频仿真软件Advanced Design System初步验证了基于六端口反射计的体声波传感器读出电路的可行性,并给出了满足薄膜体声波谐振器的射频输出信号检测要求的六端口网络的电路设计。
- 黄振华高杨蔡洵赵俊武
- 关键词：薄膜体声波谐振器读出电路
- 单片集成的体声波双工器
- 本实用新型公开了一种单片集成的体声波双工器，由发射带通滤波器、接收带通滤波器和移相器构成，其中，发射带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，接收带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，移相器由一个电感器和两个电容...
- 高杨蔡洵赵坤丽黄振华尹汐漾赵俊武韩宾
- 文献传递
- 一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器
- 本发明公开了一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器，包括声波反射层、检测元件FBAR、辐照敏感层以及读出电路；声波反射层包括柔性衬底、沉积在衬底上的声波阻挡层；检测元件FBAR包括底电极、压电层、顶电极，设置有辐照敏感层；...
- 高杨赵坤丽尹汐漾赵俊武韩宾杨涛皮明
- 文献传递
- 膜片上FBAR结构的微加速度计
- 本发明公开了膜片上FBAR结构的微加速度计，包括惯性力敏结构、检测元件和复合薄膜，复合薄膜用于连接惯性力敏结构和检测元件，惯性力敏结构位于复合薄膜的下方，检测元件位于复合薄膜的上方；惯性力敏结构包括Si质量块、Si基座与...
- 高杨何婉婧李君儒贺学峰蔡洵赵俊武尹汐漾黄振华
- 膜片上FBAR结构的微压力传感器
- 本发明公开了膜片上FBAR结构的微压力传感器，包括力敏结构、检测元件和复合薄膜，复合薄膜用于连接力敏结构和检测元件，力敏结构位于复合薄膜的下方，检测元件位于复合薄膜的上方；力敏结构包括Si基座和空腔；Si基座位于复合薄膜...
- 高杨尹汐漾何婉婧韩宾李君儒蔡洵赵俊武赵坤丽
- 文献传递
- 膜片上FBAR结构的微麦克风
- 本发明公开了膜片上FBAR结构的微麦克风，包括基底、检测元件和复合弹性支撑层，基底位于复合弹性支撑层下方，检测元件位于复合弹性支撑层的上方，复合弹性支撑层用于支撑检测元件；基底包括Si基座与空腔，Si基座外形为一长方体，...
- 高杨赵俊武何婉婧李君儒黄振华蔡洵尹汐漾赵坤丽
- 文献传递
- 一种体声波传感器读出电路
- 本实用新型公开了一种体声波传感器读出电路，包括BAW振荡器和频率检测电路；BAW振荡器包括FBAR和其他基本电路元件，FBAR和基本电路元件通过Pierce拓扑结构连接；频率检测电路包括六端口网络、四个功率计和标准负载，...
- 高杨尹汐漾黄振华贾乐雷强赵俊武刘婷婷韩宾
- 文献传递
- 一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器
- 本实用新型公开了一种柔性结构的FBAR伽马辐照传感器，包括声波反射层、检测元件FBAR、辐照敏感层以及读出电路；声波反射层包括柔性衬底、沉积在衬底上的声波阻挡层；检测元件FBAR包括底电极、压电层、顶电极，设置有辐照敏感...
- 高杨赵坤丽尹汐漾赵俊武韩宾杨涛皮明
- 文献传递
- 微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势被引量：12
- 2017年
- 微机械谐振式加速度计(MMRA)是通过检测加速度施加前后谐振器谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为MEMS传感器的重要发展方向之一。详细讨论了微机械谐振式加速度计设计中的关键技术,难点及对应解决方案、发展趋势。其中,关键技术包括机械结构、激励与检测方式以及谐振器刚度改变方式。分析了谐振器的三种机械结构以及微杠杆工艺误差造成的不对称性;根据谐振器材料的压电特性,可将MMRA分为压电MMRA和非压电MMRA,压电MMRA的激励与检测方式都是压电激励/压电检测,非压电MMRA主要为静电激励/电容检测;讨论了轴向应力和静电刚度这两种谐振器刚度改变方式的原理和适用范围。微机械谐振式加速度计主要存在四个技术难点:机械耦合、温度特性、工艺误差、组装与封装,并针对这四点给出了相应的解决方案。集成,静电刚度,新材料,多轴以及更高的性能指标将是今后微机械谐振式加速度计的主要发展趋势。
- 高杨雷强赵俊武吕军光
- 关键词：谐振器谐振频率灵敏度
