您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇组合结构
  • 1篇集成电路
  • 1篇硅栅
  • 1篇硅栅CMOS

机构

  • 1篇华东师范大学

作者

  • 1篇桂力敏
  • 1篇贺德洪
  • 1篇丁瑞军
  • 1篇陈承
  • 1篇董胜强

传媒

  • 1篇华东师范大学...

年份

  • 1篇1992
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
硅栅CMOS集成电路测试图形的研究
1992年
本文介绍了用于硅栅CMOSIC园片级工艺诊断和可靠性监控的微电子测试图形。重点论述了(1)用于检测漏、源及多晶硅薄层电阻和因扩散及腐蚀引起的横向变化量的组合结构,(2)用于监测CMOSIC动态参数的结构设计及其对工艺的评价。
桂力敏贺德洪丁瑞军董胜强谢嘉慧陈承陈康民陈谷平徐士美
关键词:硅栅组合结构
共1页<1>
聚类工具0